艾博纳新一代超高分辨率场发射扫描电子显微镜（FE-SEM），是艾博纳微纳米面向前沿科研与高端工业检测核心需求，依托自身在微纳光电、精密控制领域多年技术积淀研发的精密电子显微成像设备。系统集成艾博纳自主研发的高亮度肖特基/冷场发射电子枪、高稳定性电子光学系统以及先进的信号探测与控制算法，在超高分辨率、低加速电压成像能力、样品适应性及系统稳定性等方面实现全面提升。该设备可广泛适用于纳米材料、半导体器件、生命科学及先进制造领域，为微纳结构表征提供高效、可靠的核心工具，彰显艾博纳在高端科学仪器领域的自主创新实力。
功能特点
超高分辨率成像：在高、低加速电压条件下均可实现亚纳米级分辨能力，核心性能达国际先进水平；
低电压高对比成像：适配非导电、软材料及生物样品的原位观察需求，避免样品损伤，拓展观测范围；
多信号同步采集：支持二次电子（SE）、背散射电子（BSE）等多通道成像，同步获取样品多维信息；
智能化操作平台：集成自动对焦、自动像散校正及参数优化功能，基于艾博纳成熟的AI算法，降低操作门槛，提升检测效率；
高稳定真空系统：采用多级真空设计，结合艾博纳精密密封技术，保证电子束长期稳定运行，保障数据可靠性；
样品兼容性强：支持多尺寸样品及倾斜、旋转载台配置，适配不同领域多样化样品检测需求。
应用场景与领域
纳米材料与二维材料研究：精准完成形貌、尺寸及缺陷分析，助力新型纳米材料研发；
半导体与集成电路：适配器件失效分析、线宽测量、工艺评估，为半导体先进制程提供检测支撑；
生命科学：可实现细胞表面、组织超微结构观察（需前处理），赋能生命科学前沿研究；
新能源与储能材料：针对电极材料形貌与界面分析，助力高性能储能设备研发；
高端制造与失效分析：开展微结构断裂、疲劳及腐蚀研究，保障高端制造产品可靠性。
技术优势
高亮度场发射电子源：艾博纳自主优化设计，显著提升信噪比和空间分辨率，保障成像质量；
低像差电子光学设计：融合艾博纳在光学调控领域的核心技术，保证在宽电压范围内稳定成像；
先进探测系统：定制化探测组件，提高低Z与高Z材料的成像对比度，精准捕捉样品细节；
优化的减震与抗干扰结构：适配普通实验室环境，无需特殊装修，降低使用成本；
模块化系统架构：基于艾博纳标准化技术平台，便于功能扩展与后期升级，保护用户投资；
长时间稳定运行能力：满足高强度科研与工业检测需求，适配连续化检测场景。
基本参数配置
SE 分辨率：0.9 nm @ 15 kV，1.2 nm @ 1 kV
配置静电-电磁复合物镜，物镜无磁场外泄，可实现磁性样品超高分辨成像和分析
新一代镜筒内电子加速、减速技术，保证复杂样品的低电压高分辨检测
配置 4 个新一代探测器，可实现 9 种图像成像，样品信息采集更加全面
超过 20 个扩展接口，可配置多种分析附件，并独家实现 Raman 一体化集成（融合艾博纳拉曼光谱核心技术）
工作原理
艾博纳微纳米科技有限公司是一家位于苏州市高新区（Medpark）和江苏省淮安市的高科技企业，成立于2022年8月。公司专注于高端光学科学仪器和医学成像设备的研发、制造与销售。
其产品涵盖显微成像解决方案、真空与镀膜技术以及光学元件，产品范围从基础光学显微镜到先进的纳米级三维成像显微镜。
公司还致力于新一代人工智能驱动的科学设备研发，聚焦于纳米尺度二维材料电子器件（如石墨烯芯片）的应用研究，并结合诺贝尔奖获奖技术进行创新探索。
淮安：江苏省淮安市清江浦区清浦工业园枚皋路7号
苏州：江苏省苏州市相城区北河泾街道相融路588号中荷科技创新港，D栋4层
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