艾博纳 ABS 深紫外 - 近红外显微吸收光谱测试系统是一款集成高分辨显微成像与宽波段光谱分析的精密测试平台，覆盖 190nm-2500nm 光谱范围，可实现微区样品的吸收光谱表征与原位观测，为材料科学、半导体、生命科学等领域提供从微观形貌到光学性能的一体化分析方案，助力前沿科研与工业质检。
无色散光学设计，微区光谱测试，电动偏振控制，自动计算透射光谱，支持高压、低温测试环境
ABS 深紫外-近红外显微吸收光谱测试系统适用于220-1700nm 范围内薄膜样品的吸收光谱测试，测试范围仅5 微
米。显微镜采用氘灯-卤素灯透射光源，并且全光路无色散，极大程度的优化了紫外和红外波段的透射率，并且使得所有波段的测试
区域没有变化。氘灯模块采用了自由光路设计，增强了光源强度，单条光谱测试时间仅5 毫秒，因此可以快速进行光谱平均，使得
测量数据更为准确。
一、设备参数：
放大倍数：5 倍，10 倍，20 倍，40 倍物镜，其中 40 倍物镜为无色差物镜
光源：卤素灯，氘灯，光源范围 200-2500nm，卤素灯光源亮度可调；氘灯光源功率 25W，寿命 2000 小时；卤素灯功率 20W，寿命 2000 小时
载物台：电动控制，XY 方向行程 60mm，最小位移步长 500nm，速度范围 0.05-2mm/s
光学光路：透射式光路，光源和收集光路均为无色散设计，100 微米紫外老化微区光纤，光谱测量范围 5 微米（40 倍无色差物镜），2 微米（100 倍物镜），光源前方安装有电动快门，氘灯和卤素灯可以分别控制开关
紫外 - 近红外光谱仪：背照式光纤光谱仪使用波长 250-950nm，2048 像素，光谱分辨率 3nm，峰值量子效率 78%
近红外光谱仪：InGaAs 阵列光谱仪，256 像素，测量范围 950-1600nm，分辨率 6nm
选配功能：100 倍半消色差物镜，电动起偏器（工作波段 200-900nm 或 350-1700nm 可选），电动检偏器（250-1700nm）
二、功能特点
微区精准测试：最小测试光斑直径≤2μm，可对微纳器件、异质结界面进行定点分析
多模式表征：同步实现样品显微成像与吸收光谱采集，一键关联形貌与光学性能
自动化测试：支持自定义测试流程，批量完成多点光谱采集与数据导出
数据处理：内置基线校正、光谱拟合、成分分析模块，自动生成标准化测试报告
三、应用场景与领域
二维材料：表征石墨烯、黑磷等材料的层数相关光学吸收特性
半导体器件：检测芯片光刻胶残留、薄膜厚度与光学均匀性
生命科学：分析细胞、生物大分子的特征吸收光谱，辅助病理研究
光学材料：测试滤光片、光学薄膜的波段透过与吸收性能
四、技术优势
宽波段覆盖：同时兼容深紫外与近红外测试，适配不同材料的特征吸收波段
高信噪比：采用高灵敏度光电探测器与弱信号放大技术，实现低浓度样品精准检测
低损伤测试：采用低功率探测光源，避免测试过程对样品造成光损伤
模块化设计：可扩展拉曼光谱、荧光光谱模块，实现多模态联合表征
五、典型应用案例
科研院校：某研究所利用该系统发现了新型二维硫化钼材料在深紫外波段的特殊吸收特性，相关成果发表于《先进材料》
半导体企业：某芯片制造厂商使用该系统对 7nm 工艺光刻胶进行质量检测，将光刻缺陷率降低 15%，提升了芯片良率。
内部结构
ABS 光路中所有光学元件均为紫外镀膜反射镜组成，没有色差并且具有很高的紫外波段反射率。样品位移由电动平
移台完成，保证了样品和衬底光谱测量过程中的稳定移动。
光路设计
通过拉杆式切换器，可以快速切换测量用的谱仪，预先校准的光路可以保证两个谱仪测量位置完全重合。
吸收光谱测试
利用指示光纤，可以直接观察光谱收集的位置，从而测量指定区域的光谱。ABS使用100微米光纤收集样品透射光，
在100倍物镜下测量区域仅2微米，从而可以方便的测量微小样品指定区域的吸收光谱。
50X物镜下的指示光纤图
利用背照式制冷型微型光谱仪高灵敏度低噪声的优势，单条光谱测试时间仅5ms，可以进行多次光谱平均准确测量样品的吸收
光谱。对于具有近红外吸收的样品，ABS将结合紫外-可见光谱仪和近红外光谱仪对固定位置进行测试，两条谱线完美对
接。
测试示例： (a) 蓝宝石基底MoS2，测试范围200-1100nm, (b) 蓝宝石基底Bi2O2Se 测试范围350-1700nm
