一、产品介绍
艾博纳 E2 光纤耦合光电测试探针台是一款面向半导体器件、二维材料与光电功能器件的紧凑型光电综合测试平台。系统将高稳定电学探针测试与光纤耦合光学激发/收集深度集成，可实现器件在光激发、电学偏置及显微观测条件下的多物理场协同表征。E2 采用高刚性平台结构与模块化设计理念，支持多探针电学测试，同时预留标准光纤接口，便于接入激光器、宽谱光源、光谱仪或光功率计，适用于光电流、光响应、I–V / C–V、光调制电输运等实验需求。设备结构紧凑、操作直观，特别适合高校实验室及科研院所开展光电器件基础研究与器件验证工作。
二、系统特点与优势
（1）光纤耦合一体化设计
支持多种标准光纤接口，光源耦合稳定、重复性好，适用于激光或宽谱光照实验
（2）稳定可靠的探针测试结构
高刚性底座与低漂移载物平台设计，保障长时间测试稳定性
（3）高精度探针操控能力
探针 XYZ 微调结构，支持多探针独立调节，落针精准、重复性高
（4）显微观察友好
可配置长工作距离显微镜系统，支持同轴或倾斜观察，提升对准效率
（5）模块化扩展能力强
电学仪表、光学模块、探针数量均可按实验需求灵活配置
三、技术参数
（1）机械与平台参数
探针台类型：光纤耦合光电测试探针台
台体结构：高刚性减振结构
样品台尺寸：≤ 4 英寸（可定制）
样品台行程：X / Y：≥ 25 mm；Z：≥ 10 mm；样品固定方式：真空吸附 / 机械夹持（可选）
（2）探针系统
探针数量：2–4 组（可扩展）；探针调节方式：XYZ 三维微调；；最小调节分辨率：≤ 5 μm；探针兼容性：DC 探针；高频探针（可选）；探针接口：标准同轴 / 三轴接口；光纤耦合与光学参数
光纤接口类型：
FC / PC、FC / APC（可选）
光纤固定方式：三维可调光纤耦合支架
光斑调节：支持焦距与位置微调
适配光源：半导体激光器、超连续谱光源、LED / 卤素灯、光学拓展：可外接光谱仪、光功率计
（3）显微观察系统（可选）
显微镜类型：长工作距离显微镜
放大倍率：10× – 100×（可选）
观察方式：同轴照明；斜照明；成像接口：C-Mount，相机可选
（5）电学测试兼容性
支持测试类型：
I–V 特性测试；光电流测试；光响应 / 光开关特性；C–V（选配）
外接仪表：源表、LCR 表、低噪声放大器
（6）典型应用领域
半导体光电器件（光电二极管、探测器）；二维材料光电输运测试；光电流显微与局域光激发实验；新型光电功能材料器件评估；教学与科研光电综合实验平台。
产品结构图
