
一、产品定位与概述
艾博纳 R 系列正置金相显微镜面向金属材料、半导体材料、电子封装、焊点/镀层/涂层、陶瓷与复合材料等样品的表面形貌与组织结构观察。系统采用无限远校正金相光学系统与模块化机身平台设计,支持明场(BF)/暗场(DF)/偏光(POL)/微分干涉(DIC,选配)/荧光(选配)等多种观察方式,并可扩展高分辨率数码成像、测量分析与图像拼接,满足实验室科研、工艺验证、IQC/IPQC/OQC质检与失效分析的多场景需求。
R 系列强调三点:
成像可靠:金相专用无限远光路 + 高数值孔径金相物镜,保证 1000× 下清晰度与对比度;
结构稳定:重载机身、低重心、刚性导轨与高精度调焦机构,适合长时间记录与测量;
配置可扩展:从基础质检到半导体/材料科研,可按需求逐级升级,不重复投资。
二、核心应用场景
金属材料:晶粒度、夹杂、相组成、热处理组织、镀层/渗层
半导体与电子:晶圆表面缺陷、划痕/颗粒、金属布线、焊点/键合、封装截面
涂层与薄膜:厚度/均匀性、孔隙/裂纹、界面结合
陶瓷/复合材料:微结构、孔隙率、界面层与断口形貌
教学与科研:金相实验、材料学基础实验、工艺对比验证
三、产品特点
金相专用无限远光学系统:高对比度、低像差,适配明暗场与偏光等金相观察需求。
正置结构 + 大行程机械载物台:适合不规则、较大尺寸或较重样品,操作直观。
多观察方式可扩展:BF/DF/POL 标配可选,DIC/荧光可升级,满足不同材料的对比需求。
高稳定调焦机构:粗微同轴调焦,微调细腻,长期观察不漂移。
专业成像与测量软件(可选):支持标定、长度/角度/面积测量、颗粒统计、拼接与景深合成。
工业级接口与扩展:可配 C-mount/0.5×/1× 转接,实现大靶面相机匹配与系统升级。
四、技术参数
1. 光学系统
光学系统:无限远色差校正金相光学系统(Infinity Metallurgical Optical System)
观察筒:三目观察筒(可选双目/三目),30°倾斜;瞳距调节:48–75 mm
目镜:10×/22 mm(标配);可选 10×/20、15×/16、20×/12 等
屈光度调节:左右视度可调(典型 ±5D)
2 .观察方式(照明与模块)
明场(BF):支持(反射光金相明场)
暗场(DF):支持(选配暗场模块/暗场物镜或暗场附件)
偏光(POL):支持(选配起偏器+检偏器,可旋转载物台版本可选)
微分干涉(DIC):选配(DIC 棱镜组 + DIC 物镜)
荧光(FL):选配(多通道荧光模块,可做材料缺陷/污染/残留观察)
3. 物镜系统(可配金相 BF/DF)
物镜接口:RMS 或 M25(按平台版本),支持 5 孔/6 孔转换器
标配推荐(金相明场):5×/0.12(WD≥20 mm)10×/0.25(WD≥10 mm)20×/0.40(WD≥8 mm)50×/0.70(WD≥3 mm)100×/0.80(干镜)或 100×/1.25(油镜,选配)可选:长工作距离 LWD 金相物镜、明暗场组合物镜、DIC 专用物镜
4. 放大倍率与成像能力
目视总放大倍率(典型):50×–1000×(随目镜与物镜配置变化)
数码成像:支持 C-mount 摄像接口,适配 1/2.3"–1" 大靶面工业相机/科研相机
视场范围:随目镜视场数与相机靶面变化(典型 22 mm 视场)
5. 反射照明系统(核心)
照明方式:反射光柯勒照明(Köhler Illumination)
光源:标配:高亮度 LED(色温约 5000–6500K,可调)可选:卤素灯 12V/50W(需要更连续光谱场景)亮度调节:连续可调光阑:视场光阑、孔径光阑(用于对比度/景深控制)滤色片:蓝/绿/黄/磨砂等(可选)
6.载物台与样品适配
载物台类型:双层机械载物台(耐磨表面)行程(典型):X 75–100 mm,Y 50–75 mm(按版本)读数精度:0.1 mm(典型);可选更高精度游标/编码器版本样品适配:支持金相样块、截面样、晶圆(需选配晶圆夹具/载台)
7. 调焦系统
调焦方式:粗微同轴调焦
微调精度:2 μm(典型)
载物台升降行程:≥25 mm(典型)
防撞保护:可选(上限位/防物镜撞样保护)
8 .机身与人机工程
机身结构:高刚性金属机身,低重心设计
控制:亮度旋钮、照明开关、(可选)摄影触发/模块切换
接口:相机接口(C-mount/适配镜),可选 HDMI/USB3.0 方案(随相机)
9 .软件功能
图像采集:实时预览、曝光/增益/白平衡、HDR(依相机支持)
标定:多倍率标定与自动调用
测量:点距、线距、角度、圆/弧、面积、周长、孔隙率
统计:颗粒/夹杂计数、粒径分布、面积占比
处理:对比度增强、降噪、锐化、伪彩
拼接:多视野拼接(手动/半自动)
景深合成:多焦面合成(适合粗糙表面)
报告:自动生成图文报告(Word/PDF 模板)
10 .环境与电气
供电:AC 100–240V,50/60Hz
工作环境:温度 5–35°C;湿度 20–80%RH(无凝露)
安全:过流/过压保护(随电源模块)
五、半导体材料应用场景
典型对象:Si / SiC / GaN 晶圆、薄膜器件、微结构样品
应用内容:
晶圆表面划痕、颗粒、污染检测
光刻后图形完整性与边缘质量检查
金属互连、焊盘、键合区显微观察
芯片封装前后的表面与界面分析
R 系列优势:
正置结构适合反射观察与工艺检查
可选暗场模式,提升微缺陷对比度
支持高清相机 + 测量软件,适合工艺质检与研发
零部件图


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