艾博纳微纳米科技正式发布其全新一代 纳米加工级双束显微系统（FIB-SEM Integrated NanoFabrication Platform）。该系统集成高分辨场发射扫描电子显微镜（FE-SEM）与精密聚焦离子束（FIB）加工模块，可实现纳米级的材料观察、切割、刻蚀、截面制备和微结构加工，为半导体、材料科学、微机电系统（MEMS）、新能源与先进封装等行业带来了前所未有的加工与表征能力。新平台的推出，标志着艾博纳在高端显微加工装备领域迈上新的技术台阶，国产化 FIB-SEM 正在加速向国际高端仪器标准靠近。
一、纳米级加工 + 成像一体化：微纳结构“可视化”制造成为现实
该系统采用高亮度电子枪、高稳定离子源以及复合光学路径设计，实现：高分辨 SEM 成像：可达 1–2 nm 级;纳米级离子束切割与刻蚀（FIB）;高质量样品截面制备（用于 TEM/EBSD）;微腔、微槽、纳米通道等结构加工,通过 SEM 与 FIB 的同轴视场，用户能够在实时监控下进行极高精度的材料去除或加工，显著提升科研与工程实验效率。
二、模块化设计，适配多类材料与应用场景
艾博纳新双束系统支持多种加工模式：
纳米级截面切割（Cross-section）
断面抛光（Polishing）
微区薄片制备（用于 TEM）
元器件缺陷定位与剖析
深层工艺结构验证
二维材料/薄膜局域加工
该系统可应用于：
半导体工艺开发
MEMS 器件制程验证
SiC/GaN 功率器件分析
复合材料与金属界面研究
新能源材料（电池、催化）微结构追踪
三、智能化控制平台：降低使用门槛，提高操作效率
平台搭载艾博纳自主开发 NanoVision Control System，实现：①自动束流校准②自动截面定位③智能加工路径规划④图像增强与噪声抑制⑤多探测器数据融合⑥自动报告生成功能，大大降低了 FIB-SEM 操作难度，使科研人员能够更高效地进行微纳加工与结构分析。
四、高稳定机械结构与隔振设计，确保纳米级加工精度
系统采用：高刚性主框架；有效抑制环境振动的隔振结构；温漂补偿与电子束稳定技术；高真空腔体与洁净材料工艺，确保在长时间加工中，电子束与离子束保持稳定，实现纳米级的加工精度与图像一致性。
五、全面赋能微纳制造生态：国产高端仪器能力持续提升
随着该双束显微系统的发布，艾博纳在微纳加工装备领域已形成从：光学显微成像;超分辨显微;扫描电子显微（SEM）;聚焦离子束加工（FIB）;微区 CT 三维结构成像等全链条的技术布局。通过更高分辨率的成像、更精准的纳米加工能力与更智能的操作系统，艾博纳双束显微系统将成为科研机构、高等院校、先进制造企业的重要装备，为未来芯片工艺创新、材料研究与纳米技术发展提供坚实的国产仪器基础。
艾博纳微纳米科技有限公司是一家位于苏州市高新区（Medpark）和江苏省淮安市的高科技企业，成立于2022年8月。公司专注于高端光学科学仪器和医学成像设备的研发、制造与销售。
其产品涵盖显微成像解决方案、真空与镀膜技术以及光学元件，产品范围从基础光学显微镜到先进的纳米级三维成像显微镜。
公司还致力于新一代人工智能驱动的科学设备研发，聚焦于纳米尺度二维材料电子器件（如石墨烯芯片）的应用研究，并结合诺贝尔奖获奖技术进行创新探索。
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