
艾博纳微纳米科技正式发布全新一代 微纳器件电学—光学综合测试平台。该系统集成高精度探针台、显微成像单元、高带宽电学分析仪与专业隔振系统,为先进半导体器件、二维材料器件、MEMS 器件及光电器件提供更高精度、更高稳定性、更高自动化的测试能力。新平台的发布,是艾博纳在微纳器件测试装备领域的又一重大突破,有望进一步加速国产化测试设备在科研和产业线中的应用落地。
一、纳米级可视化 + 高精度接触:实现高端器件测试的核心能力
新一代测试平台采用高稳定度 XYZ 微位移系统与高清显微成像结构,实现:纳米级定位精度;高倍率显微观测(可选 DIC/暗场/荧光);亚微米针尖对准能力;高重复性接触控制,无论是 2D 材料器件、纳米线器件、微腔结构,还是深亚微米 MOSFET、功率器件、RF 器件,该平台都能提供可靠的微接触能力。
二、全面覆盖半导体芯片电学测试需求
平台支持多类电学分析系统(如 I–V / C–V / 脉冲 / 高频 RF 测试),可用于:①半导体器件 I–V/C–V 表征②二维材料晶体管(MoS₂、WSe₂ 等)电学性质研究③射频器件(S 参数)测试④高压/大电流器件特性测量(可拓展 ±1000V / 100A)⑤MEMS 开关与传感器测试系统可根据用户需求配备 Keithley / Keysight / Tektronix 等高端仪器,实现科研级电学性能分析。
三、隔振 + 温控 + 微环境控制,使测试更稳定、更可控
为满足前沿科学研究对环境稳定性的极高要求,艾博纳平台内置:①高性能 被动或主动隔振系统②温度可控样品台(-60°C ~ 200°C)③局域微环境控制(N₂/干燥气气氛)④防静电与防电噪声优化设计
有效抑制振动噪声、电噪声、温漂等外界因素,提高测量重现性与数据可信度。
四、 智能化软件平台,降低操作难度,提高测试效率
艾博纳自主研发的软件系统提供:
自动找针 / 自动对准
自动采集 I–V / C–V / 多曲线数据
多像素图像叠加定位
失效点自动搜索
数据统计、导出、报告集成
AI 辅助模块还可进行器件特征点提取、界面识别与自动扫描,为研发人员提供更高效的实验体验。
五、广泛应用于科研、半导体工艺与前沿材料研究
该系统适用于:
(1)半导体工艺验证
深亚微米 CMOS、SOI、GaN、SiC 器件测试
(2)材料科学
二维材料、拓扑材料、超导材料电学表征
(3)微纳加工与 MEMS 器件
微电机、微加速度计、光学 MEMS
(4)光电器件
光电探测器、太阳能电池、微型激光器等系统的高扩展性使其能覆盖从基础科研到工程样机验证再到初步产业化小试的完整测试链条。
六、行业意义:国产微纳测试装备进入加速突破期
随着新平台的推出,艾博纳正在形成覆盖:微区探针台、电学测试系统、光电混合测试系统、原位显微光学观察、MEMS 结构表征、2D 材料电学平台。
艾博纳微纳米科技有限公司是一家位于苏州市高新区(Medpark)和江苏省淮安市的高科技企业,成立于2022年8月。公司专注于高端光学科学仪器和医学成像设备的研发、制造与销售。
其产品涵盖显微成像解决方案、真空与镀膜技术以及光学元件,产品范围从基础光学显微镜到先进的纳米级三维成像显微镜。
公司还致力于新一代人工智能驱动的科学设备研发,聚焦于纳米尺度二维材料电子器件(如石墨烯芯片)的应用研究,并结合诺贝尔奖获奖技术进行创新探索。
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