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艾博纳微纳米科技(江苏)有限责任公司

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E1全自动二维材料转移系统

E1全自动二维材料转移系统

  • Category:Probe Station / 2D Transfer Station
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  • Release time:2025-12-05 14:47:36
  • Product description

一、产品概述

E1全自动二维材料转移台是一种面向二维材料(如石墨烯、TMDs、hBN 等)器件制备与基础研究的高精度自动化操作平台。该系统通过多轴精密运动控制、显微成像辅助、真空吸附与温控协同,实现二维材料从生长基底到目标基底的高成功率、高一致性转移。设备支持程序化自动操作,显著降低人为操作误差,提高实验重复性,特别适用于高通量实验与标准化制程需求。


技术参数

1、移动平台 

支持XYZ三轴精密电动控制,确保样品的精确转移与定位。 

2、步进电机 

提供高精度步进电机驱动平台,控制移动速度与精度。 

3、电动平台 

电动平台驱动,确保样品的平稳移动。 

4、控制器 

配备核心处理单元,提供高效的计算与数据处理能力,支持精确控制 平台操作。 

5、位置传感器 

用于实时监测样品位置,保证操作的精确性。 

6、真空吸盘和夹具 

配备真空吸盘系统,用于稳定地固定样品,并可根据样品的不同需求 选配夹具。 

7、通信接口 

配备USB接口,便于与计算机或其他设备进行数据交换与控制。 

8、传输系统 

配备丝杆和皮带驱动系统,确保精确的样品转移和运动稳定性。


二、功能特点

1. 全自动多轴控制:集成 XYZ + θ 多自由度精密电动平台,实现纳米级定位与重复定位精度;

2. 双平台结构设计:独立衬底平台与载玻片平台,支持同步或独立运动;
3. 真空吸附与释放系统:稳定夹持二维材料,减少转移过程中的褶皱与破损;
4. 原位加热模块:支持室温至 250℃ 精准控温,适配聚合物辅助转移工艺;
5. 显微成像辅助对准:长工作距离显微系统,支持明场/暗场实时观察;
6. 软件自动化控制:支持配方化流程、一键执行与参数记录;
7. 多接口扩展能力:预留 RS‑232、USB 与外部触发接口,便于系统集成。


三、应用场景与领域

1. 二维材料器件制备:晶体管、电极结构、异质结构筑;

2. 莫尔超晶格研究:精确控制扭转角度,实现 0–60° 高精度旋转转移;
3. 光电与量子材料研究:用于新型低维材料物性研究;
4. 教学与实验室平台:标准化流程适合高校教学与科研平台建设;
5. 小规模器件中试:满足高一致性、小批量制备需求。


四、技术优势

1. 自动化程度高,显著降低操作难度与人员依赖:设备采用多轴电动平台与软件协同控制,实现二维材料转移过程的自动化执行,有效减少人工操作步骤与经验依赖,降低人为误差,提升实验流程的稳定性与可重复性。

2. 转移成功率高,材料完整性保持良好:通过真空吸附与精密对准相结合的方式,实现二维材料在转移过程中的稳定夹持与平滑释放,显著减少褶皱、断裂与污染问题,提高转移后样品的完整率与可用性。

3. 重复性与一致性优,适合系统性科研研究:设备具备良好的重复定位精度与稳定的运动控制性能,能够在多次转移实验中保持一致的工艺条件,适用于参数对比实验、工艺优化及批量样品制备等科研场景。

4. 模块化设计灵活,可根据实验需求配置功能:系统采用模块化结构设计,可按需集成加热模块、显微观察系统及真空单元等功能组件,兼顾不同二维材料转移工艺的实验需求,提升设备适用范围。

5. 预留扩展空间,满足未来科研升级需求:设备在结构与控制接口上预留升级空间,可进一步拓展惰性气氛或真空环境、自动对准功能等高级配置,适应二维材料与微纳器件研究方向的持续发展。


五、典型应用示例表格(全自动二维材料转移台)


应用类型

转移材料体系

基底类型

关键工艺特点

典型应用方向

适用场景

备注

二维材料异质结转移

Graphene / hBN / WSe₂

Si / SiO₂

高精度对准、真空吸附、低应力释放

场效应晶体管、异质结器件

基础与应用科研

适合单层与少层材料

莫尔超晶格构筑

同质/异质二维材料

SiO₂ / 石英

精确旋转角度控制(0°–60°)

拓扑物性、强关联电子研究

前沿物理研究

支持多次旋转转移

大尺寸二维材料转移

Graphene、MoS₂ 等

≤4 英寸晶圆

平台稳定、均匀释放

器件规模化验证

工艺验证

提高大面积完整率

微纳器件局部转移

二维材料 + 预制电极

Si / SiO₂

显微辅助精准贴合

微纳电子器件

精密器件制备

适合复杂结构

光电器件材料集成

TMDs、黑磷等

玻璃 / 石英

温控辅助转移

光电探测与发光器件

光电子研究

兼容温敏材料

教学与标准化实验

常规二维材料

多类型基底

自动化流程、一键执行

高校教学与公共平台

教学与共享平台

降低操作门槛

说明:以上配置可根据用户实验需求进行定制调整。

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使用实例

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