E1全自动二维材料转移台是一种面向二维材料(如石墨烯、TMDs、hBN 等)器件制备与基础研究的高精度自动化操作平台。该系统通过多轴精密运动控制、显微成像辅助、真空吸附与温控协同,实现二维材料从生长基底到目标基底的高成功率、高一致性转移。设备支持程序化自动操作,显著降低人为操作误差,提高实验重复性,特别适用于高通量实验与标准化制程需求。
技术参数
1、移动平台
支持XYZ三轴精密电动控制,确保样品的精确转移与定位。
2、步进电机
提供高精度步进电机驱动平台,控制移动速度与精度。
3、电动平台
电动平台驱动,确保样品的平稳移动。
4、控制器
配备核心处理单元,提供高效的计算与数据处理能力,支持精确控制 平台操作。
5、位置传感器
用于实时监测样品位置,保证操作的精确性。
6、真空吸盘和夹具
配备真空吸盘系统,用于稳定地固定样品,并可根据样品的不同需求 选配夹具。
7、通信接口
配备USB接口,便于与计算机或其他设备进行数据交换与控制。
8、传输系统
配备丝杆和皮带驱动系统,确保精确的样品转移和运动稳定性。
1. 全自动多轴控制:集成 XYZ + θ 多自由度精密电动平台,实现纳米级定位与重复定位精度;
2. 双平台结构设计:独立衬底平台与载玻片平台,支持同步或独立运动;
3. 真空吸附与释放系统:稳定夹持二维材料,减少转移过程中的褶皱与破损;
4. 原位加热模块:支持室温至 250℃ 精准控温,适配聚合物辅助转移工艺;
5. 显微成像辅助对准:长工作距离显微系统,支持明场/暗场实时观察;
6. 软件自动化控制:支持配方化流程、一键执行与参数记录;
7. 多接口扩展能力:预留 RS‑232、USB 与外部触发接口,便于系统集成。
1. 二维材料器件制备:晶体管、电极结构、异质结构筑;
2. 莫尔超晶格研究:精确控制扭转角度,实现 0–60° 高精度旋转转移;
3. 光电与量子材料研究:用于新型低维材料物性研究;
4. 教学与实验室平台:标准化流程适合高校教学与科研平台建设;
5. 小规模器件中试:满足高一致性、小批量制备需求。
1. 自动化程度高,显著降低操作难度与人员依赖:设备采用多轴电动平台与软件协同控制,实现二维材料转移过程的自动化执行,有效减少人工操作步骤与经验依赖,降低人为误差,提升实验流程的稳定性与可重复性。
2. 转移成功率高,材料完整性保持良好:通过真空吸附与精密对准相结合的方式,实现二维材料在转移过程中的稳定夹持与平滑释放,显著减少褶皱、断裂与污染问题,提高转移后样品的完整率与可用性。
3. 重复性与一致性优,适合系统性科研研究:设备具备良好的重复定位精度与稳定的运动控制性能,能够在多次转移实验中保持一致的工艺条件,适用于参数对比实验、工艺优化及批量样品制备等科研场景。
4. 模块化设计灵活,可根据实验需求配置功能:系统采用模块化结构设计,可按需集成加热模块、显微观察系统及真空单元等功能组件,兼顾不同二维材料转移工艺的实验需求,提升设备适用范围。
5. 预留扩展空间,满足未来科研升级需求:设备在结构与控制接口上预留升级空间,可进一步拓展惰性气氛或真空环境、自动对准功能等高级配置,适应二维材料与微纳器件研究方向的持续发展。
应用类型 | 转移材料体系 | 基底类型 | 关键工艺特点 | 典型应用方向 | 适用场景 | 备注 |
二维材料异质结转移 | Graphene / hBN / WSe₂ | Si / SiO₂ | 高精度对准、真空吸附、低应力释放 | 场效应晶体管、异质结器件 | 基础与应用科研 | 适合单层与少层材料 |
莫尔超晶格构筑 | 同质/异质二维材料 | SiO₂ / 石英 | 精确旋转角度控制(0°–60°) | 拓扑物性、强关联电子研究 | 前沿物理研究 | 支持多次旋转转移 |
大尺寸二维材料转移 | Graphene、MoS₂ 等 | ≤4 英寸晶圆 | 平台稳定、均匀释放 | 器件规模化验证 | 工艺验证 | 提高大面积完整率 |
微纳器件局部转移 | 二维材料 + 预制电极 | Si / SiO₂ | 显微辅助精准贴合 | 微纳电子器件 | 精密器件制备 | 适合复杂结构 |
光电器件材料集成 | TMDs、黑磷等 | 玻璃 / 石英 | 温控辅助转移 | 光电探测与发光器件 | 光电子研究 | 兼容温敏材料 |
教学与标准化实验 | 常规二维材料 | 多类型基底 | 自动化流程、一键执行 | 高校教学与公共平台 | 教学与共享平台 | 降低操作门槛 |
说明:以上配置可根据用户实验需求进行定制调整。

使用实例


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