CH综合性分析探针台测试系统

一、产品概述

CH综合性分析探针台测试系统（ABN-MPS-001）是一款高精度手动控制设备，专为电子材料、半导体和微电子测试设计。该设备采用精确的手动操作系统，支持样品的精准定位与探测，广泛应用于微小元件的测试、样品分析与故障诊断。通过精密的XY轴和Z轴控制，探针台可实现高精度的样品操作和数据采集，适合科研和工业应用。设备的坚固设计确保长期使用中的稳定性，提供高可靠性与高精度性能。

技术参数

1、升降平台

升降范围：0–50mm，电动控制，分辨率为0.02–4mm/s

XY轴调节范围：70mm × 70mm，最大负载50kg，360°旋转可调 

2、光学系统

目镜倍率：20X，工作距离：18.9mm–33.61mm 

CCD相机：C-mount接口，

分辨率：640×480，光学倍率：5X/10X/20X/50X/100X光学平场显微镜，分辨率≤1.2μm，具有非常高的成像精度 

3、三轴精密框架

XY轴行程：120mm 

Z轴行程：65mm

样品平台尺寸：600mm × 600mm × 200mm，

最大负载：10kg

4、工作环境

材质：木质框架，

表面处理：喷涂

光学平台：配有防震设计，适合精密仪器操作 

5、电气系统

电压要求：220V

功率：最大功率1A，支持电压范围：±1500V

配备计算机系统：Intel i7 7500T，DDR4 16GB内存，256GB SSD

6、附加功能

内置软件支持：可连接至Windows平台

设备操作系统：Windows 10，具有数据采集、传输及图像处理功能

配套显示器：分辨率1920×1080，支持多种显示模式与参数调整

二、功能特点

1. 高稳定性机械结构：整体结构刚性强，确保测试过程中探针接触稳定；

2. XYZ 手动精密调节平台：支持微米级位置调节，便于精确对准测试区域；

3. 多探针位设计：支持单针或多针测试，满足不同测试需求；

4. 显微观察系统兼容：可搭配体视显微镜或金相显微镜进行实时观察；

5. 探针座角度可调：方便不同器件结构的探针接触；

6. 操作简便，维护成本低：适合长期稳定使用。

三、应用场景与领域

1. 半导体器件 I-V、电阻、电容等基础电学性能测试；

2. 微纳器件及 MEMS 结构的接触测试与验证；

3. 二维材料器件的电输运性能测试；

4. 高校实验教学与科研训练平台；

5. 新器件工艺的前期验证与失效分析。

四、技术优势

1. 结构成熟可靠，测试稳定性高。手动探针台采用高刚性机械结构设计，在测试过程中能够有效抑制外界振动与位移，确保探针与样品之间的稳定接触，为电学测试提供可靠基础。

2. 精细手动调节，操作灵活性强。通过 XYZ 三轴微调机构，操作者可直观控制探针移动，适合复杂器件结构与非标准样品的测试需求。

3. 显微观察与探针操作高度协同。设备可与多种显微观察系统兼容，使探针定位与样品观察同步进行，提高测试效率与操作准确性。

4. 兼容性强，适用范围广。支持多种探针类型与测试配置，可满足半导体、微纳器件及二维材料等多领域的基础测试需求。

5. 成本可控，适合科研与教学平台长期配置。相比全自动或半自动测试系统，手动探针台在保证基本测试性能的同时，具有更低的采购与维护成本，适合科研与教学环境长期使用。

五、典型应用示例

原理示意图

产品使用图