CRXK无液氦低温探针台

CRXK是艾博纳（ABN)公司推出的一款无液氦闭循环低温探针台。该系统兼顾了无液氦操作的便利性和Lake Shore产品卓越的测量性能。它使用独立的闭循环制冷机，开机后可在无人协助的情况下冷却至低温。CRXK多样的选件和配置可使研究者完成精确的、富有挑战性的测量。此款探针台可提供的最低温度为4.5K，探针台内多个温度计的安装可确保准确和重复的测量。双级闭循环制冷机允许样品在冷却过程中保持在较高温度，降低了样品冷凝的可能性，这是测量有机材料的关键要求。CRXK 可定制容纳直径达102 毫米（4 英寸）的晶圆片，并有直径 51 毫米（2 英寸）的探测区域。

一、主要参数及描述

二、应用场景与领域

1. 量子材料与器件：量子点、量子线、超导器件的低温输运与量子特性表征，如超导转变温度、量子隧穿效应测试。

2. 半导体研发：先进制程 MOSFET、FinFET、GaN HEMT 等器件的低温 I-V/C-V、可靠性与失效分析，适配低温高频参数验证。

3. 射频与微波测试：5G / 毫米波芯片、射频前端器件的低温 S 参数（回损 / 插损）、噪声系数测试，保障低温下信号完整性。

4. 光电与新能源：红外探测器、量子点激光器的低温光电响应，有机半导体、钙钛矿材料的低温载流子动力学研究。

5. 学术与前沿研究：高校 / 科研机构的纳米电子学、自旋电子学与二维材料（如石墨烯、MoS₂）低温特性研究。

三、核心功能特点

1.无液氦低温控制：双级 CCR 制冷，4.5K~350K（可选 675K 高温），降温可保持样品高温以抑制冷凝，适配有机材料与敏感器件Lake Shore Cryotronics

2.真空与环境控制：真空度 10⁻⁵Torr，可选环形磁场（0.19T），热辐射屏提升制冷效率，全温区样品振动＜1μm（X/Y/Z 轴）

3.精密定位与测量：最多 6 路超稳定微操纵探针臂，3D 定位 + 微波探头 ±5° 旋转，兼容 DC/RF/ 微波 / 光电测量，适配单端 / 差分信号

4.自动化与兼容性：支持无人值守降温与自动校准，可集成源表、示波器、锁相放大器，适配纳米电子、量子器件与射频芯片测试Lake Shore Cryotronics

5.运维与安全：无液氦消耗，热响应快，样品更换便捷，多温度传感器保障测量重复性与稳定性

四、典型型号与应用案例

1. 核心型号

   CRXK（标准版）：4.5K~350K，6 路探针臂，51mm 探测区，真空 10⁻⁵Torr，适配 2 英寸晶圆。

   CRXK-High Temp：扩展高温至 675K，适配宽温区材料热稳定性测试。

   CRXK-Magnetic：带 0.19T 环形磁场，适配自旋电子与磁电耦合器件测试。

2. 应用案例

   案例 1（量子器件研发）：某量子计算实验室用 CRX-4K 测试超导量子比特芯片，在 4.5K 下测量能级跃迁与相干时间，通过无液氦与低振动保障测试稳定性，缩短研发周期 40%。

   案例 2（半导体高频测试）：某射频芯片厂商用 CRX-4K + 微波探针测试 GaN HEMT，在 77K 下验证噪声系数与功率特性，定位低温下的参数漂移，提升量产良率 25%。

   案例 3（二维材料研究）：西湖大学用 CRX-4K 表征石墨烯 / BN 异质结的低温输运特性，结合锁相放大器实现高 Z 测量，揭示低温下的电子迁移率变化规律。