E2二维材料金相显微转移系统

E2二维材料金相显微转移系统多功能是成熟的低维材料异质结器件转移商用解决方案，已在国内外众多院士、长江/杰、青年千人等知名学者实验室得到应用，发表ACS Nano、NanoEnergy、AM等高水平论文多篇，适用于石墨烯，硫化钼，黑磷等单层材料精确定点转移，以及多层范德华异质结的制备，实现了低维材料转移的可视化操作。E1-N在保留了E1-B优异的转移集成操作的基础上，通过金相显微镜光学系统的升级，极高地提高了单层、多层及各类范德华异质结观察的分辨率及清晰度。

一、主要配置

二、标准配置

**高性价比国产金相显微升级方案:95mm超长工作距离5、20、50倍物镜，明场落射照明器，带视场光阑，孔径光阑调节功能，6500K色温白色LED照明;10X目镜三目镜筒，带成像和观察切换功能，视场20mm。

显微成像光路系统:由同轴照明系统，95mm超长工作距离5、20、50倍物镜，1200万像素CMOS显微相机，23.8英寸全高清专业显示器组成。1200万像素高灵敏度CMOS显微相机，曝光时间0.1ms~15s，自动白平衡;提供显微相机操作软件，可进行照片拍摄，录制视频，测量样品尺寸，分屏对比等功能，支持电脑控制。通过显微成像光路系统，可清晰显示硅片上的手撕单层石墨烯样品。

衬底载物平台:XYR三轴可调;XY方向行程20mm，系统分辨率0.002mm;绕Z轴手动调节旋转90，测微器精细调节行程5，调节精度0.1左右;

绕X轴和Y轴倾斜台，调节方式手动转轮，台面厚度20mm,倾斜角度2。用于调节转移时衬底及载玻片上样品的平行度;Z轴方向行程10mm，精度2pm;

样品台加热最高温度为240C;

样品台带样品真空吸附功能确保转移过程中目标样品位置精确固定。真空泵流量为35L/min。

载玻片移动平台:XYz三轴可调，80mm高稳定性台面，XY方向行程25mm，测微丝杆控制;Z轴为29mm直径百刻线微分头，便于精细升降操作，升降过程中样品无明显抖动;样品送入手动旋转台，台面直径100mm，粗调旋转范围360，细调旋转范围5，定位精度1~2;Y轴方向载玻片倾角可调:调节范围15，调节精度约0.1，调节方式手动微分头。

选配功能

选配一:磁力吸附探针座及支架

磁力吸附底座，X-Y-Z方向的移动行程分别为12.5mm，移动精度2微米;同轴探针夹具,2m同轴电缆，6mm高刚性不锈钢管，破坏电压:500V，可用于探针接地或加压;5微米(镀钨硬针)针尖直径的探针，10PC/box;定制可拆卸探针座支架及不锈钢支撑板，尺寸和高度可根据实际情况调整

选配二:电动精密位移模块及控制器

电动Z轴采用进口电机及控制器，行程范围25mm，最小行程精度0.11m。速度多档可选，兼具连续行进功能和单步行进功能，适用于异质结慢速贴合、手套箱内自动贴合等。通过精确控制Z轴运动速度，可以减少转移异质结贴合过程中形成的层间气泡，也可使得手套箱中Z轴的精细控制得以实现。

电动旋转采用进口电机及控制器，可旋转范围为90，精度可达0.01。兼具连续旋转功能和单步旋转功能。尤其适用于堆叠形成双层扭曲石墨烯及其他需要精确控制堆叠方向的各类扭曲、错位异质结二维器件。

METATEST电动控制软件可方便地对电动台进行速度设置及运动控制，同时可对照片进行旋转及透明化处理，极大地方便样品

的查找及精确转移。

配三:光纤端面材料转移模块

衬底载物平台XY方向两轴手动平移，行程

13mm;绕z轴手动调节旋转90，兼具粗调和细调，旋转精度可达1;水平倾斜角调节4度，用于调节转移时衬底及载玻片上样品的平行度;样品台加热最高温度为150C;样品台带样品真空吸附功能确保转移过程中目标样品位置精确固定。真空泵可通过电磁阀控制，真空泵流量为35L/min。

通过特殊设计的夹具和样品台，可同时满足二维材料常规转移和光纤端面材料转移，配备SMA，FC-SC光纤接口，可进一步满足将二维材料转移至光纤端面的实验需求。

选配四:手套箱内使用环境安装

对于某些特殊的对环境要求高的材料如钙钛矿等的转移可配备转移系统手套箱内使用环境安装。

选配五:配套阻尼式光学防震平台

转移效果实拍图