
艾博纳 CT系列中端探针台 是一款面向半导体器件、二维材料、MEMS 与传感器测试需求的科研与工程两用型探针测试平台,集成稳定的机械结构、精密探针操控、显微观察系统及多接口电学测试能力,在性能、扩展性与成本之间取得良好平衡。CT 系列定位于高校科研主力机型与企业研发常用平台,既可满足日常 I-V / C-V / 四探针等基础电学测试,也支持低噪声测试与多探针协同测试,是从入门级探针台升级的理想选择。
二、产品特点与优势
1. 中端定位,性能与成本平衡
相比基础型探针台,CT在结构稳定性与操控精度上全面提升,相比高端综合平台,配置更精简、维护与采购成本更可控
2. 稳定可靠的机械结构设计
高刚性底座与载物平台,减小探针接触过程中的机械漂移,XY 大行程平台,适合多器件、多点位测试
3. 精密探针操控系统
探针操控器支持 XYZ 三维微调;探针运动手感细腻,重复定位一致性好;支持多探针同时对准与测试
4. 显微观察与对准效率高
可配置长工作距离显微镜;同轴或倾斜观察方式可选,提升落针成功率
5. 良好的电学测试兼容性
标配 BNC 接口,满足常规电学测试;可选 Triax 低噪声接口,支持低电流测量;兼容主流源表、LCR 表与测试系统
三、典型应用场景
半导体分立器件、简单集成器件的常温电学测试;二维材料器件(Graphene、MoS₂、WSe₂ 等)输运特性测试;MEMS / 传感器器件电阻、电容、稳定性分析;企业研发与高校科研实验中的日常探针测试
四、技术参数
4.1 探针台与机械平台
| 项目 | 技术参数 |
|---|---|
| 系统类型 | 中端手动探针台 |
| 样品尺寸 | 芯片级样品(可选支持 2–4 inch) |
| 载物台行程 | XY:≥ 50 mm × 50 mm;Z:≥ 10 mm |
| 位移分辨率 | ≤ 1 μm(微调) |
| 重复定位精度 | ≤ ±2 μm(典型) |
| 最大样品高度 | ≤ 25 mm |
| 载物台形式 | 平面载物台(可选真空吸附) |
4.2 探针操控系统
| 项目 | 技术参数 |
|---|---|
| 探针操控器数量 | 4–6 个(可扩展至 8 个) |
| 探针调节方式 | XYZ 手动微调 |
| 可选功能 | θ 旋转 / 探针摆角调节 |
| 探针类型 | DC 软针 / 硬针 |
| 接触稳定性 | 长时间测试漂移小,重复性好 |
4.3 显微与观察系统(可选)
| 项目 | 技术参数 |
|---|---|
| 显微镜类型 | 长工作距离光学显微镜 |
| 观察方式 | 同轴 / 倾斜观察 |
| 放大倍率 | 50× – 500×(典型) |
| 成像接口 | USB / HDMI 相机接口(可选) |
4.4 电学接口与测试能力
| 项目 | 技术参数 |
|---|---|
| 支持测试 | I-V / C-V / 四探针 / 漏电测试 |
| 接口形式 | BNC(标配) |
| 可选接口 | Triax(低电流测试) |
| 电流量级 | 由外接仪表决定(支持 fA 级系统) |
| 仪表兼容 | Keithley / Keysight 等主流测试仪表 |
4.5 系统规格
| 项目 | 技术参数 |
|---|---|
| 控制方式 | 全手动操作 |
| 供电要求 | AC 220 V,50 Hz |
| 工作环境 | 15–30 ℃,30–70% RH |
| 安全设计 | 机械限位 / 接地保护 |
五、CT系列产品定位(便于你做矩阵)
中端科研探针台(常温 + 标准电学测试);增加探针数量 + 低噪声 Triax 接口 + 显微升级;真空吸附载物台 / 加热台 / 扩展电学接口。

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