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艾博纳微纳米科技(江苏)有限责任公司

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CT系列中端探针台

CT系列中端探针台

  • Category:Probe Station / 2D Transfer Station
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  • Release time:2026-02-02 21:19:28
  • Product description

全自动探针台

一、产品概述

艾博纳 CT系列中端探针台 是一款面向半导体器件、二维材料、MEMS 与传感器测试需求的科研与工程两用型探针测试平台,集成稳定的机械结构、精密探针操控、显微观察系统及多接口电学测试能力,在性能、扩展性与成本之间取得良好平衡。CT 系列定位于高校科研主力机型与企业研发常用平台,既可满足日常 I-V / C-V / 四探针等基础电学测试,也支持低噪声测试与多探针协同测试,是从入门级探针台升级的理想选择。


二、产品特点与优势


1. 中端定位,性能与成本平衡

相比基础型探针台,CT在结构稳定性与操控精度上全面提升,相比高端综合平台,配置更精简、维护与采购成本更可控


2. 稳定可靠的机械结构设计

高刚性底座与载物平台,减小探针接触过程中的机械漂移,XY 大行程平台,适合多器件、多点位测试


3. 精密探针操控系统

探针操控器支持 XYZ 三维微调;探针运动手感细腻,重复定位一致性好;支持多探针同时对准与测试


4. 显微观察与对准效率高

可配置长工作距离显微镜;同轴或倾斜观察方式可选,提升落针成功率


5. 良好的电学测试兼容性

标配 BNC 接口,满足常规电学测试;可选 Triax 低噪声接口,支持低电流测量;兼容主流源表、LCR 表与测试系统


三、典型应用场景

半导体分立器件、简单集成器件的常温电学测试;二维材料器件(Graphene、MoS₂、WSe₂ 等)输运特性测试;MEMS / 传感器器件电阻、电容、稳定性分析;企业研发与高校科研实验中的日常探针测试

四、技术参数


4.1 探针台与机械平台


项目技术参数
系统类型中端手动探针台
样品尺寸芯片级样品(可选支持 2–4 inch)
载物台行程XY:≥ 50 mm × 50 mm;Z:≥ 10 mm
位移分辨率≤ 1 μm(微调)
重复定位精度≤ ±2 μm(典型)
最大样品高度≤ 25 mm
载物台形式平面载物台(可选真空吸附)


4.2 探针操控系统


项目技术参数
探针操控器数量4–6 个(可扩展至 8 个)
探针调节方式XYZ 手动微调
可选功能θ 旋转 / 探针摆角调节
探针类型DC 软针 / 硬针
接触稳定性长时间测试漂移小,重复性好


4.3 显微与观察系统(可选)


项目技术参数
显微镜类型长工作距离光学显微镜
观察方式同轴 / 倾斜观察
放大倍率50× – 500×(典型)
成像接口USB / HDMI 相机接口(可选)


4.4 电学接口与测试能力


项目技术参数
支持测试I-V / C-V / 四探针 / 漏电测试
接口形式BNC(标配)
可选接口Triax(低电流测试)
电流量级由外接仪表决定(支持 fA 级系统)
仪表兼容Keithley / Keysight 等主流测试仪表


4.5 系统规格


项目技术参数
控制方式全手动操作
供电要求AC 220 V,50 Hz
工作环境15–30 ℃,30–70% RH
安全设计机械限位 / 接地保护



五、CT系列产品定位(便于你做矩阵)

中端科研探针台(常温 + 标准电学测试);增加探针数量 + 低噪声 Triax 接口 + 显微升级;真空吸附载物台 / 加热台 / 扩展电学接口。


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