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艾博纳微纳米科技(江苏)有限责任公司

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E1-M高分辨二维材料金相显微转移系统

E1-M高分辨二维材料金相显微转移系统

  • Category:Probe Station / 2D Transfer Station
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  • Release time:2026-02-02 21:28:29
  • Product description

艾博纳 E1-M 高分辨二维材料金相显微转移系统是一款面向前沿材料研究的精密仪器,专为二维材料的无损转移、精准定位与原位表征设计,集成高分辨显微观测、自动化转移控制与环境适配模块,为实验室提供从样品制备到性能分析的全流程解决方案,助力石墨烯、氮化硼等二维材料在电子、光电领域的应用探索。

高清晰成像,目镜观察,可集成拉曼,荧光光谱测试,转移同时测试。可选配电动精密位移及控制模块。、

E1-M适用于石墨烯,硫化钼,黑磷等单层材料精确定点转移,以及多层范德华异质结的制备,实现了低维材料转移的可视化 操作。转移系统由显微系统、三轴转移台、真空吸附加热集成样品台等部分组成。目标衬底载物台可面内大角度旋转,是研究异质 结特性、空间反演对称性破缺、以及二维材料不同堆叠方式影响的有力工具。高稳定性、高精度的机械设计及高质量的显微成像系 统使得小于5μm的微小样品的精确转移得以实现。 

E1-M在保留了E1-T优异的转移集成操作的基础上,通过尼康金相显微镜光学系统的升级,极高地提高了单层、多层及各类范 德华异质结观察的分辨率及清晰度,整合了观察、转移、成像记录等器件制备的全流程操作。E1-M还拥有众多配置选项,包括样 品台高温模块,拉曼测试模块,荧光测试模块等,配套阻尼式光学防震平台,同时支持手套箱内使用环境安装。

主要配置

二、设备参数

  1. 显微系统:光学显微镜分辨率≤0.5μm,放大倍数 50x-1000x 连续可调;搭配 CCD 相机,支持 4K 图像采集

  2. 转移平台:六轴全自动位移台,定位精度 ±1μm,行程范围 100mm×100mm×50mm

  3. 环境控制:工作腔体真空度≤1×10-3Pa,支持室温到 150℃样品加热

  4. 操控系统:工业级触控主机,搭载专用控制软件,支持一键式转移流程预设


三、功能特点

  1. 无损转移:采用静电吸附与机械剥离结合的转移方式,最大程度保留二维材料完整性

  2. 原位观测:转移过程中可实时观测材料位置与状态,精准控制转移精度

  3. 多样品兼容:支持晶圆、柔性衬底等多种样品载体

  4. 自动化流程:预设多种转移工艺包,一键完成复杂转移操作


四、应用场景与领域

  1. 二维材料研究:石墨烯、过渡金属硫化物等材料的异质结制备

  2. 半导体器件:二维材料基晶体管、传感器的原型制备

  3. 柔性电子:柔性衬底上二维材料的精准转移与集成

  4. 光学器件:二维材料光学薄膜的制备与性能表征


五、技术优势

  1. 高精度定位:六轴位移台搭配视觉引导系统,实现亚微米级转移精度

  2. 低损伤设计:非接触式转移工艺,避免材料褶皱与破损

  3. 高适配性:兼容多种二维材料与衬底组合,适配不同研究需求

  4. 易用性强:可视化操作界面降低使用门槛,缩短实验周期


六、典型应用案例

  1. 高校实验室:某顶尖大学利用该系统成功制备出三层石墨烯 - 氮化硼异质结,实现了室温下高迁移率晶体管制备,相关成果发表于《自然・纳米技术》

  2. 企业研发中心:某半导体企业通过该系统完成了二维材料在柔性传感器上的批量转移,推动产品进入量产阶段。


设备外观图

E1-M系统包括四个子系统:衬底载物平台调节子系统、载玻片移动平台调节子系统、显微成像子系统、电路控制子系统。

设备图

样品台五轴可调;支持沿 XY 方向平移,行程 20mm,系统分辨率0.002mm;绕 z 轴手动调节旋转最大±90°; 绕x轴和y 轴 倾斜台,倾斜角度±2°;Z轴方向行程10mm,精度2μm。 

载玻片XYZ三轴可调,行程25mm;样品送入手动旋转台,粗调旋转范围360°,细调旋转范围±5°,定位精度1~2°;Y轴方向 载玻片倾角可调:调节范围±15°,调节精度约0.1°,调节方式手动微分头。 

显微成像系统采用尼康金相显微观察系统,配套三目镜筒,5倍,10倍,20倍,50倍4个物镜,2个10X目镜。1200万像素 USB3.0超高清CMOS显微相机,提供显微相机操作软件,可进行照片拍摄,录制视频,测量样品尺寸,分屏对比等功能。

电动Z轴采用进口电机及控制器,行程范围25mm,最小行程精度0.1μm。速度多档可选,兼具连续行进功能和单步行进功能, 适用于异质结慢速贴合、手套箱内自动贴合等。通过精确控制Z轴运动速度,可以减少转移异质结贴合过程中形成的层间气泡,也 可使得手套箱中Z轴的精细控制得以实现。

选配三

电动旋转采用进口电机及控制器,可旋转范围为±90°,精度可达0.01°。兼具连续旋转功能和单步旋转功能。尤其适用于堆叠形 成双层扭曲石墨烯及其他需要精确控制堆叠方向的各类扭曲、错位异质结二维器件。


METATEST电动控制软件可方便地对电动台进行速度设置及运动控制,同时可对照片进行旋转及透明化处理,极大地方便样品 的查找及精确转移。

设备成像图

明暗场升级 

通过对落射照明器及物镜的全面升级,可对标本差异和缺陷进行高分辨率、高灵敏度的检测。

image.png


从图像中直观看出:暗场是将明场照明下的对比反差完全颠倒,明场中亮的部分变暗,明场中暗的部分变亮 所得到的成像图。 针对纳米线、纳米片或有缺陷、表面不均匀、不平整的样品来说,在暗场下,可以清晰的看清楚样品的轮廓以及表面缺陷等。


选配一


高精度软件温控热台,升温速度可控,降温速度也可慢速控制,提供不一样的实验操作条件!最大加热温度可达240℃;可控 升温速度,最低0.01℃/s,最大1℃/s(小于100℃时),高温时加热速度不小于0.2℃/s;提供上位机软件,支持软件连接,可分段 控温,电脑端控制升温速率,用户界面显示温度曲线!



配套的阻尼式光学防震平台,降低高倍操作下的环境扰动(长宽厚900*600*50mm台面长宽厚600*600*50mm台面等多种规 格可选)

 ☆☆☆E1-M可集成拉曼,荧光光谱测试功能,转移同时测试,该需求可联系定制。

实拍图


湿法转移操作步骤


干法转移操作步骤

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