E2-Vac真空环境光电测试系统

兼容真空、非真空两种测试环境；兼容任意光纤耦合光源，可生成匀化激光光斑或者聚焦激光光斑，多种可选模块

E2-Vac真空环境光电测试系统具有常规探针台全部功能（即电学测试），和特别优化的光学结构设计，为您提供优秀的真空环 境/非真空环境光电测试一站式解决方案。

• 可兼容真空测试和非真空测试环境，真空腔极限真空度5*10-5mbar，适配涡旋干泵极限真空度＜5*10-2mbar（5Pa），可 升级分子泵（极限真空度8*10-8mbar）。 

• 超短探针空间，可兼容物镜共聚焦光路，可同时观察器件微观结构及激光形貌。 

• 多物镜连续切换，最高支持50倍物镜，实现μm级聚焦光斑，且光斑尺寸可调；扎针状态下，可以移动激光光斑选择测试区域。

• 可兼容多种测试光源，类型包含激光器、氙灯、LED、超连续激光等多种形式，波长兼容250-5500nm。

• 高屏蔽三同轴接线方式，三同轴漏电流小于100fA。

• 搭载的低噪声光电流测试模块，可以满足多种光电流测试需求。配套的Metatest Suite测试软件包突破性集成了所有光学以及 电学测试设备的控制功能，并且可以任意组合进行自定义的参数扫描，极大程度简化测试过程。

主要配置*：

* 设备参数仅供参考，具体以报价文件为准

结构设计：

• 样品可通过真空吸附在样品台上，避免扎针时样品移位 

• 探针台包含2个三同轴高精度探针座和1个SMA高速探针座 

• 多物镜切换，可连续变换物镜调整合适的激光照射光斑尺寸 

• 涡旋干泵，提供真空测试环境

• 层叠式光路设计，可以安装最多4个光路模块，每个光路模块都可以实现不同的光学功能，例如耦合激光进入光学系统或者测量样品的电致发光光谱等 

• 提供SMA，FC/PC，FC/APC光纤接口，可根据需求自行更换接口。

• 快速衰减功能，通过六孔手动衰减片转轮加拉杆式OD3衰减片切换器叠加使用，可覆盖6个数量级的激光光强衰减调节 

• 每层光路之间通过燕尾槽固定，可以快速扩展新的功能 

• 显微成像部分可单独移动，实现扎针测试过程中改变观察区域

光电流测试功能简介

E2-Vac显微光路采用正入射的入光方式，提供匀强光斑照明模块将激光或LED光源转化为均匀的小光斑照射到样品上，光学显 微成像下通过物镜实现光斑聚焦，光斑大小8-800um范围内可变，光斑均匀，到样品光功率密度可高达105 mW/cm2 （520nm多 模激光）。可增配点状激光照明模块，将激光直接聚焦在样品表面形成微小的高斯光斑，光斑直径约1微米。

E2-Vac系统配置了高屏蔽三同轴接线方式，提供了精准可靠的电学测试平台，三同轴漏电流小于100fA（利用半导体参数分析 仪4200，实测20fA左右）。Metatest Suite 软件包将系统中的测试设备统一控制，可同时进行3个参量的测量，每个参量又可进行 2组参数的参数扫描。在测试过程中，激光光强可以随时测量并调整正在使用的光功率。