CGO高低温真空探针台

一、产品概述

艾博纳CGO高低温真空探针台（Vacuum Probe Station ）是为半导体、MEMS、光电器件以及微电子领域的高精度电学测试需求设计的一款设备。它能够提供精密的电学测量功能，并且支持在真空环境下进行IV/CV、S参数、暗电流等多项电学特性测试，同时具备显微观察功能，适用于科研、测试与生产应用。

技术参数

注：以上为典型值，最终以技术协议与出厂检验单为准。

二、功能特点

1. 真空腔体结构设计：支持在真空或低气压环境下进行器件测试，显著降低环境干扰；

2. 精密 XYZ 运动平台：实现样品与探针的高精度位置调节与重复定位；

3. 多探针配置能力：支持单针或多针同步测试，满足复杂器件测试需求；

4. 真空电学测试接口：预留多路电信号引出接口，方便与测试仪器连接；

5. 显微观察系统兼容：可与体视显微镜或金相显微镜配合，实现实时观察；

6. 腔体密封与安全设计：确保真空稳定性与测试过程安全。

三、应用场景与领域

1. 半导体器件在真空环境下的 I-V、C-V 及可靠性测试；

2. MEMS 器件在低气压或真空条件下的功能与接触测试；

3. 二维材料器件对环境敏感特性的电输运研究；

4. 新型器件在受控环境中的参数评估与对比实验；

5. 高校与科研机构的真空电学测试平台建设。

四、技术优势

1. 可控真空环境，显著提升测试可靠性。真空探针台通过稳定的腔体抽气与密封结构，有效降低空气、水汽及杂质对测试结果的影响，为环境敏感器件提供可靠的测试条件。

2. 精密运动与稳定接触机制相结合。设备集成高精度运动平台与探针调节机构，在真空环境下仍可保持探针与样品之间的稳定接触，提升测试重复性与数据一致性。

3. 多探针与多接口兼容，测试灵活性高。支持多种探针配置及多路电信号引出，满足复杂器件和多参数同步测试需求。

4. 显微观察与真空测试协同设计。探针操作与显微观察在同一系统内完成，有助于提高定位精度与操作效率。

5. 适合科研与工程验证的长期稳定运行。设备在结构与材料选择上兼顾真空适应性与长期可靠性，可满足科研实验与工程化测试的持续使用需求。

五、典型应用示例

说明：以上配置可根据用户实验需求进行定制调整。

真空腔体结构的应用和原理图

功能原理图