一、产品概述
艾博纳CT高低温探针台精准温控，可靠测试，广泛应用于材料与器件性能测试，是专为高精度温度测试需求设计的设备，适用于半导体、MEMS、光电器件等领域的电学和热学测试。该设备具有-190°C 至 +300°C的广泛温度范围，支持常压、真空和惰性气体环境下的测试，确保在极端温度条件下提供稳定和精确的测试结果。
技术参数
二、功能特点
1. 宽温区控温能力：支持低温至高温范围内连续可控调节，满足不同材料与器件测试需求； 2. 高稳定性温控平台：样品台温度均匀性好，温度波动小，保证测试结果可靠； 3. 精密 XYZ 运动平台：实现样品与探针在不同温度条件下的高精度对准与重复定位； 4. 多探针配置支持：支持单针或多针同步测试，适用于复杂器件结构； 5. 显微观察系统兼容：可与体视显微镜或金相显微镜配合，实现实时观察； 6. 安全与防护设计：具备过温保护与系统联锁，保障设备与样品安全。
三、应用场景与领域
1. 半导体器件在高低温条件下的 I-V、C-V 及可靠性测试； 2. MEMS 器件的温度相关性能与功能测试； 3. 二维材料器件的低温输运、高温稳定性研究； 4. 新型功能材料在变温条件下的电学特性表征； 5. 高校与科研机构的变温电学测试平台建设。
四、技术优势
1. 宽温区与稳定控温相结合，提升测试数据可信度。高低温探针台通过高性能温控系统，实现样品在宽温区范围内的稳定控制，有效降低温度波动对测试结果的影响，适用于温度敏感器件研究。 2. 温控系统与探针测试深度集成。设备在结构设计上充分考虑温控与探针操作的协同，在不同温度条件下仍可保持探针与样品之间的稳定接触，提高测试重复性与实验效率。 3. 精密运动机构保证高低温条件下的定位精度。即使在温度变化过程中，平台仍能维持良好的机械稳定性与定位精度，满足微纳尺度器件的测试需求。 4. 多探针与多接口兼容，应用灵活。支持多种探针配置与电学接口，可适配多类型测试仪器与实验方案。 5. 适合科研与工程验证的长期稳定运行。设备在材料选型与结构设计上兼顾高低温适应性与可靠性，可满足科研实验与工程化测试的长期使用需求。
应用案例 
设备外观图 
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