一、产品概述
电镜-拉曼一体化系统（SEM-Raman）是一种将扫描电子显微镜（SEM）的高分辨率形貌成像能力与拉曼光谱的化学成分与结构分析能力深度融合的多模态分析平台。该系统可在同一真空环境、同一观测区域内，实现纳米尺度形貌、微区化学成分、晶体结构及应力状态的同步获取，避免样品多次转移带来的污染和定位误差。系统广泛适用于材料科学、半导体器件、二维材料、能源材料及失效分析等前沿研究与工程应用领域。
基本参数配置：
图像空间分辨率：360 nm（XY）
三种激光波长可选：532 nm、785 nm、488 nm 平行布置设计，电镜和拉曼互不干扰，并均可独立使用 在电镜中观察到的感兴趣区域，可直接移至拉曼下激进行高精度的点、线、面及三维激 光分析，实现真正位置联用结果采集
TESCAN 所有型号的电镜（包括钨灯丝、场发射、FIB-SEM）均可配置成 RISE 系统
二、功能特点
1. SEM高分辨成像：支持二次电子/背散射电子成像，实现纳米级表面形貌与结构观察。
2. 原位拉曼光谱分析：在SEM腔体内实现微区拉曼光谱采集，支持点扫、线扫与面扫。
3. 精准区域关联：SEM图像与拉曼谱图一一对应，实现形貌—成分—结构的精准关联分析。
4. 原位与准原位测试能力：支持加热、偏压、应力加载等扩展模块。
5. 高稳定光路设计：专用真空兼容拉曼光学系统，确保信噪比与重复性。
6. 一体化软件平台：支持图像与光谱同步显示、数据叠加与定量分析。
三、应用场景与领域
• 二维材料与低维材料研究：石墨烯、TMDs、拓扑材料等的层数、缺陷与应力分析。
• 半导体与微纳器件：晶圆缺陷定位、应力分布、杂质与相变分析。
• 能源材料：锂电、钠电、固态电池及催化材料的微区结构与化学表征。
• 失效分析与质量控制：电子器件失效点定位与成分溯源。
• 纳米制造与微结构研究：MEMS/NEMS器件的结构—性能关联分析。
四、技术优势
1. 真正同位点分析：避免样品转移，实现高可信度数据关联。
2. 纳米—微米多尺度覆盖：兼顾SEM纳米分辨与拉曼微区分析能力。
3. 高集成度与系统稳定性：光机电一体化设计，长期运行稳定。
4. 对样品适应性强：适用于导电、半导体及部分非导电样品。
5. 显著提升研究效率：减少重复测试流程，加快科研与工程决策。
五、技术参数配置：
图像空间分辨率：360 nm（XY）
三种激光波长可选：532 nm、785 nm、488 nm
平行布置设计，电镜和拉曼互不干扰，并均可独立使用
在电镜中观察到的感兴趣区域，可直接移至拉曼下激进行高精度的点、线、面及三维激光分析，实现真正位置联用结果采集
TESCAN 所有型号的电镜（包括钨灯丝、场发射、FIB-SEM）均可配置成 RISE 系统
六、典型型号与应用案例
类型 | 定位 | 特点 | 应用案例 | 适用对象 |
SEM-Raman 标准科研型 | 常规材料表征与高校科研平台 | · 中高分辨率扫描电子显微成像 · 集成可见光拉曼光谱模块 · 支持点扫、线扫拉曼分析 · 适用于常温、常规真空条件测试 | · 常规材料微区成分与形貌联合分析 · 科研教学平台综合实验 | · 高校公共实验平台 · 材料、物理、化学类基础研究 · 教学与科研并重实验室 |
SEM-Raman 高分辨分析型 | 二维材料与微纳结构精细分析 | · 高分辨场发射 SEM 成像 · 微区拉曼光斑精确定位 · 高稳定性光学与机械结构 · 支持低加速电压精细成像 | · 二维材料层数与应力分布分析 · 微纳结构精细表征 | · 二维材料与低维材料研究 · 纳米器件、微结构表征 · 高水平科研课题与论文支撑 |
SEM-Raman 原位拓展型 | 材料与器件动态行为研究 | · 在 SEM-Raman 一体平台上集成原位模块 · 支持加热、偏压、电流加载等功能 · 可实现结构—成分—性能协同分析 · 支持准原位与原位实验流程 | · 能源材料原位结构演变研究 · 半导体器件可靠性与失效机理分析 | · 能源材料、催化材料研究 · 半导体器件可靠性研究 · 原位机理探索型科研项目 |
SEM-Raman 定制增强型 | 特定应用与工程需求定制 | · 可定制多激光波长拉曼模块 · 可扩展低温、高温或特殊气氛 · 支持特殊样品台与探测方案 · 面向复杂应用场景深度优化 | · 特殊环境下材料表征 · 多波长拉曼增强分析 | · 国家级重点实验室 · 高端科研仪器平台 · 特殊工艺与前沿探索研究 |
工作原理图
数据图
外观图
