一、产品概述
艾博纳（ABN)的EMPXH探针台增加了一个±0.6 T水平方向磁场的电磁铁，所有标准的C-V、
I-V、微波和电光探测，加上面内水平场电磁测量，都可以在EMPXH探针台上进行。研究
人员可以使用EMPXH来测试磁输运参数，ST-FMR测试等。它是Lake Shore探针台中用
于矢量相关磁输运测量的低温探针台。
为了最大限度地提高样品磁场，EMPXH的探针配置为30°倾角，用于探测直径达25mm
（1英寸）的晶圆片。360°旋转样品台选项允许测量角度相关和各向异性的磁输运特性。
EMPXH在4.5 K至400 K的温度范围内运行，配置低温选件可将基本温度扩展至3.2 K。
EMPXH采用连续流制冷，可使用液氦或液氮进行冷却。
核心基础参数：
最低温度：1.8K（标配），室温至低温全程无液氦；
磁场范围：标配 ±2T（电磁铁），选配 ±9T（超导磁体），磁场均匀性＜0.5%；
适配样品：2/4 英寸晶圆、φ50mm 以内块状 / 薄膜样品；
真空度：＜1×10⁻⁶Torr（高真空腔体）；
探针臂：标配 4 路 DC 探针臂，可选 2 路射频 / 微波探针臂（最高 110GHz）。
二、主要参数及描述
| 磁场 |
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| 磁体类型 | 电磁铁 |
| 磁场方向 | 水平方向（平行于样品面） |
| 磁场控制 | 霍尔探头安装在探针台内用于磁场闭环控制 |
| 磁场大小 | 最大±6koe(±0.6T) |
| 磁场均匀性 | 0.6%10mm直径;2.6%25mm直径 |
| 探针针尖移动 | ＜5um整个磁场范围内 |
| 温度范围 |
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| 最多安装4个探针臂 | 基础温度4.5K,控制温度范围5K~400K |
| 安装PS-LT低温选件 | 基础温度3.2K,控制温度范围3.3K~400K |
| 温度稳定性 | 液氦 液氮 |
| 基础温度 | ±20mk ±50mk |
真空
| 以TPS-FRG分子泵为标准 |
| 抽真空时间 | 30min(＜1x10﹣3Torr) |
| 室温 | ＜5X10﹣4Torr |
| 基础温度 | ＜1X10﹣5Torr |
| 最高温度 | ＜5X10﹣3Torr |
| 循环时间 |
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| 总循环 | 3h |
| 抽真空 | 0.5h |
| 探针台冷却 | 1.25h |
| 探针台升温 | 1.25h |
| 样品 |
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| 最大尺寸 | 51mm(2英寸) |
| 样品背光接口 | 不可选 |
| 样品旋转 | 360°样品旋转选件（PS-360-EMPX） |
| 样品振动 | ＜300nm标准 |
| 探针配置 |
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| 最大探针数 | 4 |
| 探针臂温度计 | 用于监视探针臂的温度 |
| 冷却探针支架 | ＜20K（样品在基础温度下） |
| 探针支架 | 连接样品台热沉 |
| 探针臂支架 连接防辐射屏热沉 |
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| DC/RF探针 电绝缘＞100GΩ用于地漏点测量 |
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| 微波探针 频率范围从DC到67GHz |
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| 光纤探针 可用于电光测量 |
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| 落针范围 所有探针均可在直径为25.4毫米（一英寸）的圆内落针 |
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三、核心功能特点
无液氦温场调控：双级闭循环制冷机，1.8K~400K 连续可调，降温速度＜4h（室温至 1.8K）；样品台与探针臂同温设计，避免温度梯度导致的测试误差，支持长期无人值守稳定运行
宽范围磁场调控：内置磁场模块，磁场方向可选垂直 / 水平，磁场扫描速率 0.001~1T/min 精准可调；磁场与温场独立控温，无相互干扰，满足磁电耦合、自旋电子学的变场变温测试
高精度探测与对位：标配金相 + 荧光双光学对位系统，放大倍数 50~1000 倍，微米级视觉定位；探针臂 3D 精密调节（精度 ±0.5μm），支持 6 路探针臂扩展，适配四点探针法、差分探测等多种测试方式
多类型测量兼容：原生支持 DC（电流 / 电压 / 电阻）、霍尔效应、I-V/C-V 测试；选配射频 / 微波模块可实现至 110GHz S 参数、噪声系数测试；可集成光电模块，完成低温磁场下的光电响应、荧光光谱测试
高真空与抗干扰：高真空腔体有效抑制样品氧化、热对流干扰；腔体内置隔震与电磁屏蔽设计，降低振动（＜0.1μm@X/Y/Z）与电磁噪声，保障弱信号（如量子器件隧穿电流）精准采集
智能化集成控制：一体化工控软件，可同步设置温场（目标温度、升降速率）、磁场（强度、方向、扫描速率）、探针定位参数；支持测试数据实时采集、存储与导出，兼容 LabVIEW 二次开发
灵活运维与扩展：样品更换便捷（快开式真空腔体），制冷机无耗材（仅需定期维护）；探针臂、磁场模块、射频模块均可现场升级，无需整机改造，适配不同课题的测试需求升级
四、应用场景与领域
EMPXH 适配低温 + 磁场复合条件下的各类微纳器件、材料的特性表征，核心应用于前沿科研与高端器件研发，具体场景 / 领域如下：
1. 量子信息与量子器件
量子点、超导量子比特、拓扑量子器件、Majorana 零能模的低温磁电特性测试；验证磁场对量子相干时间、能级跃迁、隧穿效应的调控规律，是量子计算芯片研发的关键测试平台。
2. 磁电材料与自旋电子学
多铁性材料、拓扑绝缘体、磁性薄膜（铁磁 / 反铁磁）、自旋阀器件的低温磁电耦合特性；测试霍尔效应、反常霍尔效应、自旋霍尔效应、磁阻特性（巨磁阻 GMR / 隧穿磁阻 TMR）。
3. 先进半导体器件
GaN/AlN/GaAs 基 HEMT、MOSFET、FinFET 等宽禁带半导体器件的低温磁场下 I-V/C-V、高频特性、可靠性测试；定位磁场对器件载流子迁移率、阈值电压、噪声系数的影响。
4. 二维材料与低维物理
石墨烯、MoS₂、MXene、异质结等二维材料的低温磁场输运特性；测试载流子浓度、迁移率、量子霍尔效应，研究磁场对低维材料电子结构的调控机制。
5. 光电与新能源器件
红外探测器、量子点激光器、钙钛矿光伏器件的低温磁场光电响应；验证磁场对器件光生载流子分离、传输、复合效率的影响，优化器件光电性能。
6. 高校 / 科研院所前沿研究
微电子、凝聚态物理、材料科学、磁学等领域的基础研究与课题攻关；适配多课题组共享使用，满足变温、变场、多类型测量的多元化实验需求。
设备外观图
