一、产品概述
艾博纳 ET 多功能高精度二维材料转移平台是一套面向二维材料制备与异质结构构筑的科研级精密转移系统。平台集成高分辨显微成像、多自由度精密运动控制与稳定的样品固定方式,可实现石墨烯、过渡金属硫族化合物(TMDs)、h-BN、黑磷等二维材料的精准拾取、对准与转移。系统采用模块化设计理念,在保证高对准精度与操作稳定性的同时,兼顾实验灵活性,广泛适用于二维材料基础研究、器件前处理及新型 van der Waals 异质结构构筑等前沿方向。
二、核心特点与技术优势
1. 多自由度高精度转移结构
X / Y / Z 精密位移与 θ 旋转调节;支持微米级甚至亚微米级对准;满足多层异质结构叠层需求
2. 高稳定显微成像系统
集成长工作距离显微镜;实时观察材料边缘、界面与转移过程;有效降低操作风险,提高成功率
3. 模块化拾取与转移方案
支持 PDMS / PPC / PC 等多种转移介质;兼容干法与半干法转移工艺;快速更换夹具与功能模块
4. 高稳定机械结构设计
高刚性平台与低漂移设计;有效抑制外界振动影响;保障长时间操作的一致性与可靠性
5. 良好的系统拓展能力
可选加热模块、真空吸附模块;可拓展惰性气氛或封闭腔体;为后续自动化升级预留接口
三、典型应用场景
二维材料精准转移与定位;van der Waals 异质结构构筑;微纳光电器件前处理;扭角材料与多层叠加研究;新材料制备工艺探索
四、技术参数
1. 显微成像系统
显微方式:明场(暗场可选);物镜类型:长工作距离物镜;放大倍率:50× – 500×;成像分辨率:≤1 μm;观察方式:同轴或侧向观察
2. 转移与运动平台
位移轴配置:X / Y / Z
行程范围:X / Y:≥25 mm;Z:≥10 mm;最小步进分辨率:≤0.1 μm;重复定位精度:≤0.5 μm;旋转调节:θ 轴 ±180°(可选)
3. 样品与衬底系统
样品尺寸:毫米级至 4 英寸;衬底类型:Si / SiO₂ / 蓝宝石 / 玻璃 / 柔性衬底;固定方式:真空吸附 / 机械夹持
4. 功能模块(可选)
加热模块:室温 – 200 ℃(可定制);真空吸附模块;快速换样模块;防振光学平台接口
5. 控制方式
操作模式:全手动 / 半自动;控制方式:精密旋钮 + 机械微调;自动化接口:预留电控与软件升级空间
6. 工作环境
工作温度:18 – 28 ℃;相对湿度:≤60%;适用环境:普通实验室 / 洁净室
五、产品定位说明
艾博纳 ET 多功能高精度二维材料转移平台定位于高性价比、高灵活度的核心科研转移设备,可作为二维材料实验室的标准配置平台,并可与艾博纳的光刻系统、探针台、拉曼显微系统及原子力显微镜协同使用,构建完整的二维材料制备与表征解决方案。
观察图:


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