CS小型探针台

一、产品概述

CS小型探针台是艾博纳（ABN）为桌面式一体化设计，整机紧凑占地小，核心搭载精密微操纵探针臂、光学对位系统与真空吸附样品台，可实现对芯片、晶圆（≤2 英寸）、微型 PCB、微纳器件测试点的微米级精准接触，配合源表、万用表、示波器等外设，完成 DC 直流参数、低频频响、连通性等基础电性能测试。设备定位精度达 μm 级，探针配置灵活，操作门槛低，无需专业机房，普通实验室桌面即可部署，是小样品测试、教学实验、研发预研的高性价比选择，广泛适配微电子、材料、光电器件等领域的基础测试需求。

二、设备参数

三、核心功能特点

桌面紧凑型设计：整机小巧轻便，占地＜0.2㎡，无需专用安装空间，普通实验室桌面、教学实验台均可部署，移动与收纳便捷

微米级精准定位：探针臂采用精密微操纵结构，X/Y/Z 轴独立微调，±1μm 定位精度，满足小样品、微纳器件的精细测试点接触需求

灵活的探针配置：标配 4 路通用探针臂，360° 环形分布，可独立调节高度与角度；兼容尖头 / 平头 / 弹性测试探针，探针更换无需专业工具，操作简单基

础电测全兼容：原生支持 DC 直流测试（电压 / 电流 / 电阻 / 导通性）、低频频响测试，可无缝对接源表、万用表、示波器、锁相放大器等常规测试外设简易光学对位标配高倍金相显微镜，清晰观测样品测试点与探针针尖，选配 CCD 视觉模块可实现实时画面显示，降低对位操作难度

稳定的样品固定：真空吸附样品台，可快速固定小尺寸晶圆、芯片、微型 PCB，防止测试过程中样品偏移，保障测试重复性；样品台支持水平微调，适配不规则样品

高性价比与低门槛：整机采购成本低，运维无耗材，无需专业技术人员操作，新手经简单培训即可上手，适配教学实验与研发初筛

适度拓展性：可选配 CCD 视觉对位、简易电磁屏蔽罩、探针臂数扩展（最多 6 路），满足基础测试向进阶测试的轻度升级需求

四、应用场景与领域

CS-4 小型探针台聚焦小样品、基础型、入门级测试需求，覆盖高校教学、研发预研、小批量样品初筛等场景，核心应用于微电子、材料科学、光电器件等领域的基础测试，具体场景如下：

1. 高校教学实验

微电子、材料科学、电子信息工程等专业的课堂教学与实验实训，如半导体器件基础特性测试、PCB 连通性实验、材料电阻率测量，适配本科 / 研究生基础实验教学，让学生直观掌握探针测试原理与操作方法。

2. 研发预研与样品初筛

中小企业、初创团队的器件研发预研，对芯片、微纳器件、新材料样品进行前期电性能初筛，快速判断样品基础特性（如导通性、电阻值、I-V 曲线），筛选合格样品进入后续高精度测试，降低研发成本。

3. 小尺寸芯片 / 晶圆测试

≤2 英寸半导体晶圆、裸芯片、微型封装芯片的基础 DC 特性测试，如 MOS 管、二极管、三极管的 I-V/C-V 测试，适配实验室小批量晶圆片测试与器件特性表征。

4. 微纳材料与器件测试

石墨烯、MoS₂等二维材料、纳米薄膜、微纳传感器的基础电性能测试，如材料电阻率、载流子浓度初测，微纳传感器的通断与响应特性验证。

5. 微型 PCB / 柔性微板测试

消费电子、穿戴设备的微型 PCB、柔性微板（FPC）的连通性测试与基础电阻测试，适配小规格柔性板的研发打样初筛。

6. 光电器件基础测试

微型 LED、光电探测器、量子点微器件的基础光电响应测试，配合光源与光电测试仪，完成器件通断、基础光电转换特性的初步验证。

设备外观图