CX-闭循环低温探针台

一、产品概述

艾博纳 CX闭循环低温探针台 是一款面向低温电学、量子器件、二维材料与半导体器件测试的高性能科研级测试平台。系统采用闭循环制冷（Cryocooler）方案，无需液氦或液氮补给，即可实现稳定、可重复的低温环境，大幅降低长期运行成本并提升实验安全性与便利性。设备将低温真空环境、高精度位移平台、多探针电学测试能力集成于一体，适用于单器件、芯片级及小尺寸晶圆在低温条件下的 I-V、C-V、Hall、脉冲电学及多物理耦合测试，可广泛应用于高校科研院所及先进半导体实验室。

二、产品特点与优势

1. 闭循环低温系统

采用高可靠性闭循环低温制冷机；无液氦/液氮消耗，运行成本低；支持长时间连续低温测试

2. 宽温区精准控温

覆盖从室温至极低温区间；多点温度传感器实时监测；温控稳定性高，温度波动小

3. 高真空低噪声环境

真空腔体一体化设计；有效抑制对流与水汽冷凝；优化的机械与电磁隔离，降低测试噪声

4. 高精度多维探针操控

XYZ（可选 θ）微位移平台；探针定位精度高、重复性好；支持多探针同步测试

5. 强扩展性与兼容性

兼容主流源表、LCR、低噪声放大器；可选光学观察、磁场模块、射频测试接口；支持定制化配置，满足不同研究需求

三、典型应用方向

低温晶体管与器件 I-V / C-V 测试；二维材料（Graphene、TMDs、hBN）低温输运特性研究；量子器件、超导器件电学表征；低温 Hall 测量、磁输运实验；新型半导体材料低温可靠性分析

四、技术参数

五、配置与定制说明

支持 磁场模块（横向 / 纵向） 扩展；支持 射频/高速脉冲测试 升级；支持 晶圆级样品台（2–4 inch） 定制；可对接 Keithley / Keysight / Zurich Instruments 等测试系统