一、产品介绍
艾博纳 MS 高精度光电流扫描测试显微镜 面向半导体与光电器件研发需求，集成高稳定显微成像、精密扫描平台与低噪声光电流检测模块，实现对器件在微纳尺度下的空间分辨光电流成像与定量分析。系统支持多波长激光/白光激发、同步电学采集与二维/三维扫描成像，能够直观揭示材料与器件的局域响应、缺陷分布及载流子输运特性，是高校与科研院所进行前沿光电研究与工艺评估的理想工具。
二、核心技术资讯（Technical Insights）
1. 高稳定显微光学系统
无限远校正光路，支持明场/暗场/偏振等多模式扩展；高 NA 物镜组合，确保微区激发与高对比成像；可选同轴/侧向入射，适配不同器件结构
2. 精密扫描与定位平台
高精度电动 X-Y-Z 扫描，微米级步进与亚微米重复性
支持大视场快速扫描与局域精细扫描无缝切换
多规格样品台，兼容晶圆、芯片与定制样品
3. 低噪声光电流检测链路
高灵敏度跨阻放大与低噪声前端设计；宽量程电流测量（pA–mA 级可选）；同步采集位置信号与电学信号，实现像素级映射
4. 多源激发与同步控制
支持多波长激光/LED 激发，功率稳定可调；光源、扫描与采集三者硬件级同步，提升信噪比；适配锁相检测等高级测量方案（选配）
5. 专业数据与软件平台
实时二维/三维光电流成像与叠加显示；I-V、位置-电流曲线与统计分析；数据导出与二次处理接口，便于科研复现与发表
三、典型应用场景
半导体光电器件：光电探测器、太阳能电池、LED/激光器
二维材料与异质结：石墨烯、TMDs、范德华结构
器件缺陷与均匀性评估：局域短路、界面态、非均匀响应
工艺与机理研究：载流子扩散、界面复合、光生电流机制
四、产品优势总结
高分辨 × 高灵敏：兼顾空间分辨与电流检测极限
模块化扩展：光源、探针、检测与软件均可升级
科研级稳定性：长期扫描一致性与可重复性优异
国产自研可控：贴合本土科研需求，响应快、定制灵活
