
艾博纳微纳米科技正式发布全新升级的 扫描电子显微镜(SEM)平台。该系统采用高稳定电子光学柱、高灵敏探测器阵列与智能成像控制技术,可实现纳米级结构的高分辨观察,是材料科学、半导体工艺、微纳加工与生命科学研究的重要升级装备。从外观设计到核心电子光学结构,艾博纳新一代 SEM 均进行了系统性优化,具备更高分辨率、更强适应性与更高的自动化智能水平,在国产电子显微镜领域迈出关键一步。
一、纳米级成像能力提升,细节清晰可辨
新 SEM 平台采用高亮度电子源与抖动抑制电子光学系统,实现:
高分辨率成像:2–3 nm 级(典型)
低加速电压下仍保持高对比度
支持纳米颗粒、薄膜缺陷、微结构边界高精度观察
结构纹理、界面形貌更锐利
在多次测试中,艾博纳新平台在 高反差材料、复杂微结构、绝缘材料 的成像表现出色。
二、多探测器阵列,适配更多材料与样品类型
系统可配置:
SE(次级电子探测器)
BSE(背散射电子探测器)
In-lens 高分辨探测器
傅里叶背散射增强模块(可选)
多探测器协同提供形貌 + 组成 + 对比度多维信息,适用于:
金属、陶瓷、复合材料
二维材料与薄膜
微纳器件表面
生物材料表面纹理
三、 AI SmartSEM™ 智能化操作,大幅降低使用门槛
艾博纳自研 AI SmartSEM™ 模块具有:自动对焦;自动亮度/对比度; 自动区域检测;自动拼图(大视场); 图像降噪与增强
有效提升了扫描速度及图像一致性,让科研人员可以更专注于科学分析。
四、多场景应用能力,覆盖科研 + 工业检测
艾博纳新 SEM 可广泛应用于:
(1)材料科学
纳米颗粒形貌
晶界形貌
微裂纹、孔洞
(2)半导体工艺
光刻/刻蚀结构检测
TSV/MEMS 微结构观察
薄膜形貌与线宽评估
(3)微纳技术与器件研发
二维材料
微机电系统
表面微结构
(4)工业质量检测
涂层缺陷
表面污染
金属疲劳破坏分析
五、 艾博纳加速国产显微装备布局,全面提升仪器核心竞争力
随着全新 SEM 平台的推出,艾博纳显微系列已覆盖:光学显微;光电显微;激光显微;场发射 / 扫描电子显微(SEM / FE-SEM);微区 CT;光谱联动显微,形成国产仪器难得的 多维成像矩阵。
艾博纳微纳米科技有限公司是一家位于苏州市高新区(Medpark)和江苏省淮安市的高科技企业,成立于2022年8月。公司专注于高端光学科学仪器和医学成像设备的研发、制造与销售。
其产品涵盖显微成像解决方案、真空与镀膜技术以及光学元件,产品范围从基础光学显微镜到先进的纳米级三维成像显微镜。
公司还致力于新一代人工智能驱动的科学设备研发,聚焦于纳米尺度二维材料电子器件(如石墨烯芯片)的应用研究,并结合诺贝尔奖获奖技术进行创新探索。
淮安:江苏省淮安市清江浦区清浦工业园枚皋路7号
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