艾博纳微纳米科技正式发布自主研发的 激光-电子束多模态联动显微成像技术平台。该技术将 激光共焦显微成像（Laser Confocal） 与 扫描电子显微成像（SEM） 深度融合，能够在同一系统内实现 表面形貌、高分辨成像、材料成分分析 的多维度联合观察，为材料研究、半导体表征、微纳器件开发与生物组织分析提供更强大的可视化能力。本次发布的联动方案结合了 激光光学分辨优势 + 电子束纳米级分辨能力 + X 射线能谱 EDS 的成分分析能力，是艾博纳在先进显微系统领域的又一重大技术突破。
一、激光 + 电子束 + 光谱的三合一成像，将多维信息融合到一台设备中
传统显微系统往往只能提供单一类型的信息，而艾博纳多模态联动系统实现了 一次操作、多维输出：
激光共焦显微成像（CLSM）
真实 3D 表面形貌、深度信息、快速扫描能力
高分辨电子束成像（SEM）
纳米级结构细节、材料界面纹理、颗粒形貌
能谱分析（EDS/EBSD）
材料成分元素分布、局域相结构分析
系统可在同一位置实现光学 → 电子束 → 光谱的顺序联动，重复定位误差控制在微米级以内，大幅提升实验效率与数据一致性。
二、三维表面形貌 + 纳米级细节，填补光学与电镜之间的“信息断层”
通过激光共焦，可以快速获取样品：表面粗糙度；深度轮廓；3D 高度映射；台阶高度；微结构形貌，随后无缝切换到 SEM 模式，对感兴趣区域进行高放大成像，例如：纳米颗粒、微裂纹、界面缺陷、二维材料层数识别、薄膜表面微纹理，该联动方式使科研人员能够从“宏观 → 微观 → 纳米级”获得连续且完整的结构信息。
三、全自动联动平台，实现一键式多模态扫描
艾博纳联动系统实现了真正意义上的 智能化一键联动：
自动切换光路
自动调整焦点
自动定位同一观测区域
自动输出配准后的多模态数据
自动生成结构 + 成分的综合报告
系统内置智能对齐算法，可将光学图像与 SEM 图像、以及能谱成分图自动叠加，形成 多模态综合图谱（Multi-modal Fusion Map）。
四、面向材料与半导体的强大应用能力
这项技术在多个关键应用领域体现出实际价值：
（1） 材料科学
复合材料界面三维解析
纳米颗粒形貌与成分分析
微裂纹三维轨迹追踪
（2）半导体与微电子
光刻图形 + SEM 边缘检测
微结构 3D 台阶 + 纳米缺陷解析
TSV/MEMS 结构复合成像
（3） 二维材料
表面形貌 vs 层数变化联动观察
晶畴边界识别
缺陷点成分分析
（4）生物组织
双模态观察组织结构（光学）与细胞亚形貌（电子）
五、为国产高端显微装备注入新的跨界能力
此次推出的激光–电子束多模态联动技术，使艾博纳在显微成像技术链条中进一步完善布局。艾博纳现已具备：①光学显微②超分辨显微③激光共焦④场发射电子显微（FE-SEM）⑤微区 CT⑥双束系统（FIB-SEM）⑦多模态联动成像（Laser + SEM + EDS），形成国产显微仪器罕见的全谱系覆盖能力。
艾博纳微纳米科技有限公司是一家位于苏州市高新区（Medpark）和江苏省淮安市的高科技企业，成立于2022年8月。公司专注于高端光学科学仪器和医学成像设备的研发、制造与销售。
其产品涵盖显微成像解决方案、真空与镀膜技术以及光学元件，产品范围从基础光学显微镜到先进的纳米级三维成像显微镜。
公司还致力于新一代人工智能驱动的科学设备研发，聚焦于纳米尺度二维材料电子器件（如石墨烯芯片）的应用研究，并结合诺贝尔奖获奖技术进行创新探索。
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