艾博纳微纳米科技重磅发布全新一代 手套箱集成式薄膜沉积系统，该系统将超低氧低水手套箱（Glovebox）、真空沉积腔体（蒸发/溅射/等离子）以及精密控制模块高度集成，为科研团队和材料制备工程师提供一套 高纯度、无污染、全流程可控的材料制备环境。该平台特别适用于处理 空气敏感材料、二维材料、钙钛矿薄膜、光电功能薄膜、先进电池材料 等，对材料纯度、制备环境和沉积质量要求极高的科研与产业场景。
一、全封闭惰性环境，实现材料制备零污染
系统内置高性能手套箱，具备：①O₂ < 0.1 ppm②H₂O < 0.1 ppm④撒播惰性气体持续循环净化⑤大视窗超宽工作区⑥双手操作端口 & 气闸仓（Load-Lock），确保材料制备全流程在超纯惰性环境中进行，避免敏感材料因接触空气而退化、氧化或分解。
二、真空沉积系统高度集成，支持多种薄膜工艺
平台可根据需求配置： 热蒸发（Thermal Evaporation）,适合金属、有机薄膜沉积电子束蒸发（E-beam Evaporation）适合高熔点材料与功能薄膜 磁控溅射（Sputtering）适用于金属、介质薄膜的均匀沉积 等离子清洗（Plasma）用于表面清洁、活化、能带调节 原位加热台 / 冷却台用于退火、晶化、应力调控所有模块均可在手套箱内实现 无缝对接，确保样品不暴露于空气中。
三、整体联动控制系统，实现全自动化与高重复性制备流程
艾博纳自主研发的控制平台整合：①真空监测 & 自动抽气②气氛控制 & 净化曲线③薄膜沉积功率控制④实时温度/速率反馈⑤自动安全保护 & 报警系统，研究人员可通过触控界面自定义多段工艺 Recipe，实现高度一致的薄膜制备质量。
四、广泛适用：从二维材料到钙钛矿光电的一体化制备平台
该系统能显著提高材料实验的可重复性与良率，特别适用于： （1）二维材料（MoS₂ / WSe₂ / BP / h-BN）防氧化制备；原位转移 + 沉积；功能层叠结构构筑（2）钙钛矿光电材料蒸发/溅射复合工艺；防潮防氧降解控制；LED / 太阳能电池制备（3）锂电池/固态电池材料干燥/制片/表面处理；无氧界面层沉积（3）光电功能薄膜金属电极；半导体薄膜；介电层；科研院所、企业研发中心、高校实验平台均可受益。
五、 艾博纳持续构建微纳制造全生态装备矩阵
该系统是艾博纳在微纳制造方向的重要补强，使其设备体系更加完整。艾博纳目前已覆盖：
显微成像系统
激光共焦 / 超分辨光学系统
半导体探针台 / 电学测试系统
真空镀膜设备
热蒸发 / 磁控溅射 / 等离子处理平台
惰性环境手套箱系统
二维材料转移平台
FIB-SEM / 微区 CT 等高级成像设备
形成从 材料制备—加工—表征—应用验证 的一站式技术平台。
艾博纳微纳米科技有限公司是一家位于苏州市高新区（Medpark）和江苏省淮安市的高科技企业，成立于2022年8月。公司专注于高端光学科学仪器和医学成像设备的研发、制造与销售。
其产品涵盖显微成像解决方案、真空与镀膜技术以及光学元件，产品范围从基础光学显微镜到先进的纳米级三维成像显微镜。
公司还致力于新一代人工智能驱动的科学设备研发，聚焦于纳米尺度二维材料电子器件（如石墨烯芯片）的应用研究，并结合诺贝尔奖获奖技术进行创新探索。
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