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艾博纳微纳米科技(江苏)有限责任公司

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艾博纳微纳米科技推出新一代超高真空薄膜沉积系统,助力半导体与先进制造升级

2026-01-19 10:12:23
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在材料科学、半导体技术与生命科学对纳米级表征需求快速增长的背景下,艾博纳微纳米科技宣布:其参与建设的 高分辨率透射电子显微镜(TEM)实验平台 已正式投入使用,为国内科研机构提供国际先进水平的原子级结构解析能力。从现场图可见,新系统采用全封闭隔振环境、高稳定供电系统与超高真空电子光学架构,是目前科研领域性能要求最高的分析设备之一,广泛用于二维材料、半导体器件、金属合金、催化剂以及生物大分子等结构的原子级解析。


1 原子级分辨能力:直击材料本征结构

该 TEM 具备:

  1. 亚埃级空间分辨率(Sub-Å Resolution)

  2. 高亮度场发射电子枪(FEG)

  3. 像差校正技术(Cs Corrector)

  4. 多模式成像能力(HRTEM / STEM / SAED)

  5. 可直接观察:

  6. 晶体点阵

  7. 原子柱排列

  8. 晶界缺陷

  9. 位错、空位、嵌入层

  10. 二维材料层数/缺陷

  11. 催化剂活性位点

为研究者提供真正意义上的“原子级证据”。

2 高稳定机械与环境系统:为极限分辨率保驾护航

从设备现场布局可看到:

  1. 隔振平台与独立基座

  2. 多层屏蔽防干扰结构

  3. 精密温控与气流管理

  4. 独立供电与接地系统

  5. 大型机柜式电子束电源与控制模块

这些配置保证 TEM 在运行时:

  1. 减少环境振动

  2. 降低磁场、电噪声干扰

  3. 保证长时间扫描的光学稳定性

  4. 提供超高真空(10⁻⁷–10⁻⁸ Pa)

使极限分辨率得以发挥。
3 多功能电子探测平台:结构、成分与化学态一次获取

系统可扩展:STEM-EDS / EELS 成分分析

检测元素组成、价态、能带结构
电子衍射分析(SAED / 4D-STEM)

晶体结构、应变场定量分析
HAADF-Z 成像

原子序数对比成像(Z-contrast)
原位 TEM(可选)

加热、拉伸、电学刺激下实时观察材料演变过程

实验者可在一台设备上完成材料结构、成分与动态演化的“全流程表征”。

助力多学科前沿研究:从半导体到新能源

该 TEM 平台在以下研究方向中具有重要价值:半导体工艺(2 nm–28 nm)、高介电栅材料、金属栅极界面、FinFET/GAA 结构、二维材料、晶畴边界、缺陷调控、异质结结构、催化材料、活性位点演变、原子级载体界面表征、新能源材料、锂电池 SEI 膜、界面扩散与相变、生物结构、病毒、蛋白复合体的高分辨结构分析(冷冻模式可选)


5 艾博纳:加速构建高端微纳分析装备国产化生态

艾博纳微纳米科技深度参与 显微成像—光谱分析—微纳加工—电学测试 全链条设备的研发与国产化工作。此次高端 TEM 平台的落地使用,标志着艾博纳在纳米级表征与大型仪器承建方面迈出关键一步。



艾博纳微纳米科技有限公司是一家位于苏州市高新区(Medpark)和江苏省淮安市的高科技企业,成立于2022年8月。公司专注于高端光学科学仪器和医学成像设备的研发、制造与销售。

其产品涵盖显微成像解决方案、真空与镀膜技术以及光学元件,产品范围从基础光学显微镜到先进的纳米级三维成像显微镜。

公司还致力于新一代人工智能驱动的科学设备研发,聚焦于纳米尺度二维材料电子器件(如石墨烯芯片)的应用研究,并结合诺贝尔奖获奖技术进行创新探索。

淮安:江苏省淮安市清江浦区清浦工业园枚皋路7号

苏州:江苏省苏州市相城区北河泾街道相融路588号中荷科技创新港,D栋4层

邮箱:service@abner-nano.com

联系电话: 13327968688


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