随着微纳米技术在半导体、光学、新能源等战略领域的深度渗透，高精度薄膜制备已成为制约产业升级与技术突破的核心环节。近日，国内微纳米装备领军企业艾博纳微纳米科技宣布推出NovaEvap-1000系列高精度热蒸发镀膜仪，凭借多项自主研发的核心技术突破，为先进材料领域的研发与生产提供了更高效、更精准的解决方案，引发行业广泛关注。
核心技术突破：精度与智能化双升级
热蒸发镀膜是通过加热材料使其蒸发并沉积于基底表面形成薄膜的技术，其核心在于对蒸发过程、真空环境、膜厚控制的精准把控。NovaEvap-1000系列在这些关键环节实现了跨越式提升：
1. 超高真空与纯净膜层
设备采用离子泵与分子泵组合的真空系统，极限真空度可达5×10⁻⁷ Pa，有效降低腔室内杂质气体（如氧气、水蒸气）对膜层的污染，确保金属、氧化物等材料膜层的纯度与导电性。
2. 纳米级膜厚精准控制
搭载进口石英晶体微天平（QCM）实时监控系统，膜厚测量精度达0.1nm，并支持闭环反馈控制——当膜厚接近目标值时，系统自动调整蒸发速率，确保批量样品的膜厚一致性优于±2%。
3. 多材料兼容与柔性适配
设备配备双坩埚共蒸发模块，支持金属（Au、Ag、Cu）、氧化物（SiO₂、TiO₂）、有机物（PEDOT:PSS）等多种材料的单一或复合镀膜；同时，基底温度可控制在室温至1500℃，且支持柔性基底（PET、PI膜）的低温镀膜（≤50℃），避免高温损坏柔性材料。
4. 智能化操作与数据化管理
采用7英寸触控屏智能界面，集成参数设置、过程监控、数据导出功能，操作流程可视化；设备还支持远程诊断与软件升级，大幅降低维护成本。
多领域应用：赋能产业创新实践
NovaEvap-1000系列的通用性与高精度，使其在多个领域展现出独特优势：
半导体领域：芯片互联层研发
国内某顶尖半导体研究所利用该设备制备下一代芯片的铜互联层，镀膜均匀性较传统设备提升20%，有效解决了芯片微型化过程中互联层电阻不均的问题，缩短研发周期30%。
柔性电子：可穿戴传感器制备
某高校柔性电子实验室通过NovaEvap-1000制备出银纳米线/PEDOT:PSS复合薄膜，膜厚均匀性达±1.5nm，所研发的柔性压力传感器灵敏度提升35%，相关成果发表于《Advanced Materials》。
新能源：固态电池薄膜电极
针对固态电池正极材料薄膜化需求，设备实现锂钴氧化物（LCO）的均匀镀膜，使电池能量密度提升18%，循环寿命突破2000次，为新能源企业的固态电池量产提供技术支撑。
光学领域：高端滤光片制造
某光学企业采用该设备制备激光器件用高反射膜，膜层反射率达99.8%，且长期稳定性优于进口设备，产品良率从85%提升至95%。
打破国外垄断：推动产业自主化
长期以来，高端热蒸发镀膜设备市场被欧美品牌垄断，国内用户面临价格高（单台超百万）、售后响应慢等痛点。NovaEvap-1000系列的性能指标已达国际先进水平，而价格仅为进口设备的60%，且提供本地化24小时快速服务。 艾博纳总经理表示：“我们的目标是让国内科研机构与企业用得起、用得好高端镀膜设备。NovaEvap-1000的推出，标志着我国在微纳米装备领域实现了‘从跟跑到并跑’的突破。”
未来展望：复合镀膜与定制化服务
艾博纳团队透露，下一步将推出集成热蒸发与原子层沉积（ALD）的复合镀膜系统，进一步拓展设备在超薄膜（≤1nm）制备中的应用；同时，针对不同行业需求，提供定制化模块（如卷对卷镀膜、大面积基底处理），助力更多企业实现技术升级。 不仅为国内先进材料研发注入新动力，更将推动我国半导体、新能源等战略产业向自主可控方向迈进。在微纳米技术加速迭代的今天，艾博纳正以技术创新为引擎，成为全球高精度镀膜装备领域的新生力量。
艾博纳微纳米科技有限公司是一家位于苏州市高新区（Medpark）和江苏省淮安市的高科技企业，成立于2022年8月。公司专注于高端光学科学仪器和医学成像设备的研发、制造与销售。
其产品涵盖显微成像解决方案、真空与镀膜技术以及光学元件，产品范围从基础光学显微镜到先进的纳米级三维成像显微镜。
公司还致力于新一代人工智能驱动的科学设备研发，聚焦于纳米尺度二维材料电子器件（如石墨烯芯片）的应用研究，并结合诺贝尔奖获奖技术进行创新探索。
淮安：江苏省淮安市清江浦区清浦工业园枚皋路7号
苏州：江苏省苏州市相城区北河泾街道相融路588号中荷科技创新港，D栋4层
邮箱：service@abner-nano.com
联系电话: 13327968688
