以其高精度、高性价比的特点——半导体先进测试的国产化利器

在半导体产业向先进制程、复杂封装快速演进的今天，传统单面探针台已难以满足MEMS、功率器件、3D IC等产品的双面电极测试需求。艾博纳作为国内精密测试设备领域的领军企业，推出的CH-8-D双面探针台，凭借其高精度对准、稳定可靠的性能和灵活的应用场景，成为解决双面测试难题的国产化优选方案。

核心技术参数：精准适配先进测试需求
CH-8-D针对8英寸及以下晶圆/芯片设计，核心参数达到行业先进水平：
- 工作台性能：XY轴采用精密气浮导轨，行程150mm×150mm，定位精度±1μm，重复定位精度±0.5μm，确保样品快速精准移动；上下Z轴独立驱动，行程各50mm，搭载滚珠丝杠实现微米级接触控制。
- 射频兼容：支持最高20GHz的射频探针测试，满足高速信号器件的高频特性分析。
- 环境适应性：可选配-40℃~150℃高低温模块，覆盖极端环境下的可靠性测试；设备整体防静电设计，避免静电损害敏感器件。

结构设计：双面同轴对准的核心优势
CH-8-D的核心竞争力在于其一体化双面同轴对准系统：
- 视觉对准：配备双1.3M像素高分辨率CCD相机，分别捕捉上下探针座与样品正反电极图像，通过自研算法实现自动对准，精度达±0.5μm，解决人工对准效率低、误差大的痛点。
- 模块化探针座：上下各支持4~8个探针通道，兼容钨针、铍铜针、同轴探针等类型；探针角度可±15°调节，间距最小0.1mm，适配不同电极布局。
- 稳定性设计：工作台底部减震脚垫隔绝外界振动；采用气浮导轨减少摩擦，保证长时间运行的稳定性；防静电器件覆盖整机，避免静电干扰。

应用场景：覆盖多领域半导体测试需求
CH-8-D广泛应用于以下场景：
1. MEMS器件：如陀螺仪、加速度计，正面信号电极与背面接地电极需同时接触。某厂商使用后，测试效率提升35%，良率提高8%。
2. 功率半导体：IGBT、MOSFET的正面引脚与背面集电极需同步测试，支持100A大电流、1kV高电压需求。
3. 先进封装：SiP、3D IC的堆叠芯片通过TSV连接，CH-8-D验证TSV导通性与信号质量。
4. 传感器：压力/生物传感器的敏感面与电极面分离，设备可接触背面电极而不损坏敏感面。

操作体验：智能化与便捷性并存
CH-8-D搭载中文可视化操作软件：
- 支持测试流程编程：拖拽设置探针路径、接触压力、电压/电流参数，自动生成数据报表。
- 远程控制与预警：工程师可远程监控测试，内置探针磨损预警机制，确保测试精度。
- 易维护：探针座快拆设计（5分钟更换），工作台防粘涂层易清洁，降低维护成本。

国产化价值：打破进口垄断，助力产业升级
相比进口产品，CH-8-D优势显著：
- 成本优势：价格仅为进口的60%~70%，降低企业投入。
- 定制化：可根据客户需求调整探针数量、温度范围等参数，快速响应特殊场景。
- 服务保障：24小时技术支持，48小时上门服务，解决售后痛点。

结语
        艾博纳CH-8-D双面探针台以其高精度、高性价比的特点，成为国内半导体企业实现测试自主可控的关键设备。随着产业升级，它将持续迭代，助力我国半导体产业迈向全球价值链高端。

艾博纳微纳米科技有限公司是一家位于苏州市高新区（Medpark）和江苏省淮安市的高科技企业，成立于2022年8月。公司专注于高端光学科学仪器和医学成像设备的研发、制造与销售。

其产品涵盖显微成像解决方案、真空与镀膜技术以及光学元件，产品范围从基础光学显微镜到先进的纳米级三维成像显微镜。

公司还致力于新一代人工智能驱动的科学设备研发，聚焦于纳米尺度二维材料电子器件（如石墨烯芯片）的应用研究，并结合诺贝尔奖获奖技术进行创新探索。

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