
近日,精密光学检测设备领军企业艾博纳正式推出新一代M系列测量显微镜。该产品凭借超精密光学成像、智能自动化测量及多模态照明等核心技术突破,为半导体、电子元件、汽车精密部件等领域提供亚微米级精度的检测解决方案,标志着国内高端测量设备向“光学硬件+智能算法”融合方向迈出关键一步。
一、光学系统:夯实高精度成像基石
艾博纳M系列的核心优势源于其重构的光学成像单元。产品采用无限远校正复消色差光学系统,搭配高数值孔径(NA)物镜(最高NA=1.35),通过特殊光学玻璃组合与镀膜工艺,有效抑制色差、球差与彗差,确保成像边缘锐利、细节还原度达99%以上。结合自研的亚像素边缘检测算法,测量精度提升至±0.3微米,重复测量精度稳定在±0.1微米——这一指标远超传统手动测量设备,可满足精密制造领域对微米级误差的严苛要求。
此外,系统搭载高灵敏度CMOS图像传感器(像素尺寸2.2μm),配合10倍-1000倍连续变倍光学放大,可清晰捕捉工件表面的微小缺陷(如半导体芯片引脚的微裂纹、汽车齿轮的齿面磨损),为后续测量提供可靠的图像基础。
二、 智能自动化:突破效率瓶颈
针对传统测量依赖人工、效率低下的痛点,M系列引入AI驱动的智能测量平台。其内置的工件特征识别模块,可通过深度学习模型自动识别齿轮齿形、芯片引脚、焊点等典型工件特征,识别准确率达98%以上;同时基于特征分布智能规划最优测量路径,减少无效运动时间。
硬件上,产品采用气浮式高精度载物台,运动分辨率达0.1微米,重复定位精度±0.2微米,配合自动对焦系统(对焦精度0.5微米),实现从工件上料到测量结果输出的全流程无人化操作。数据显示,M系列的检测速度可达200个特征/分钟,较传统手动测量效率提升50%,大幅降低人工成本与人为误差。
三、 多模态照明:应对复杂成像场景
为解决不同材质工件的成像难题,M系列集成多模态自适应照明系统。该系统包含LED同轴、环形、暗场、斜射等6种照明模式,通过智能光强调节算法,针对高反光金属、透明光学玻璃、粗糙塑料等材质自动匹配最优方案:
对高反光的金属表面,切换至暗场照明,清晰呈现表面划痕与凹陷;
对透明光学镜片,采用同轴照明观测内部气泡与杂质;
对微小零件的立体特征,通过斜射照明增强轮廓对比度。
这一设计有效覆盖了95%以上的工业检测场景,解决了传统设备难以应对的复杂成像痛点。
四、应用场景:覆盖高端制造全链条
M系列的应用场景贯穿精密制造核心环节:
半导体封装:快速检测芯片引脚间距、共面度及焊点体积,精度±0.5微米,满足IPC-A-610国际标准;
汽车精密部件:验证发动机喷油嘴微孔直径(误差≤0.3μm)、齿轮齿形误差,保障部件性能稳定性;
医疗设备:检测植入式传感器的微型零件尺寸,为产品安全性提供数据支撑;
光学元件:测量镜片表面粗糙度与平面度,助力高端镜头制造。
此外,产品支持工业以太网接口,可无缝对接MES、ERP系统,实现测量数据的实时上传与全生命周期追溯,为企业构建数字化质量管控体系提供关键支撑。
五、 技术愿景:推动光学智能深度融合
艾博纳深耕光学检测领域二十余年,累计拥有50余项核心专利,客户遍布全球10余个国家。此次M系列的发布,是公司“光学硬件+智能算法”战略的落地成果。未来,艾博纳将继续聚焦超分辨率成像、AI特征识别等前沿技术,推动测量设备向“无人化、智能化、互联化”升级,助力中国制造向高端化转型。 正如艾博纳技术总监所言:“M系列的诞生,不仅是测量精度的突破,更是对传统测量模式的重构。我们希望通过技术创新,让精密制造的质量管控更高效、更可靠。”
艾博纳微纳米科技有限公司是一家位于苏州市高新区(Medpark)和江苏省淮安市的高科技企业,成立于2022年8月。公司专注于高端光学科学仪器和医学成像设备的研发、制造与销售。
其产品涵盖显微成像解决方案、真空与镀膜技术以及光学元件,产品范围从基础光学显微镜到先进的纳米级三维成像显微镜。
公司还致力于新一代人工智能驱动的科学设备研发,聚焦于纳米尺度二维材料电子器件(如石墨烯芯片)的应用研究,并结合诺贝尔奖获奖技术进行创新探索。
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