CM半自动探针台

艾博纳 CM半自动探针台是一款面向半导体器件、二维材料与微纳电子研究的科研级电学测试平台。系统采用“电动精密运动 + 人工精细调节”的半自动设计理念，在保证定位精度、探针接触稳定性与测试重复性的同时，兼顾系统结构简洁性与成本可控性，适合高校、科研院所及企业研发实验室长期稳定使用。CM以高刚性载物平台为核心，支持 XYZ 精密位移与微米级定位控制；多自由度探针系统可实现探针在 XYZ 方向及俯仰、偏摆角度的精细调节，满足微区电极和微纳器件的可靠接触需求。系统可灵活搭配金相显微镜或长工作距离显微成像系统，实现样品的实时观察与精准对准。

一、技术特点

（1）半自动精密定位系统：电动 XYZ 载物台结合人工微调机构，兼顾操作效率与精度控制（2）高稳定性机械结构：整体高刚性设计，有效降低机械振动对低电流、低噪声测试的影响（3）多自由度探针调节：支持探针 XYZ 微调、俯仰角及偏摆角调整，提高探针接触成功率（4）良好的系统兼容性：可兼容多种探针臂、显微镜与电学测试仪器（源表、LCR 表等）（5）面向科研与教学优化：操作直观、维护成本低，适合器件研究与教学实验并行使用

二、主要技术参数

机械运动参数

探针系统参数

显微与观测系统

电学测试接口

三、典型应用场景

半导体器件 I–V / C–V 特性测试；二维材料器件电输运性能研究；MEMS 微结构电学测试；高校微纳电子与器件物理教学实验。