
近日,艾博纳正式推出新一代超高分辨率超高通量氙气等离子聚焦离子束扫描电子显微镜(FIB-SEM),这款融合前沿技术的设备凭借“双超高”核心优势——原子级分辨率成像与数倍提升的加工分析通量,为半导体、材料科学、生命科学等领域的微观研究与工业应用带来革命性突破,标志着艾博纳在微观表征技术领域再攀高峰。
技术革新:“双超高”打破行业瓶颈
传统FIB-SEM多采用镓离子源,存在束流有限、样品损伤大、分辨率与通量难以兼顾的痛点。艾博纳新一代设备通过三大技术突破,彻底解决这一难题:
1. 氙气等离子离子源:通量与低损伤的完美平衡
搭载自主研发的氙气等离子离子源,束流最高可达50nA(是传统镓离子源的5倍以上),大幅提升样品加工与分析速度;同时,氙离子的能量分布更均匀,对敏感材料(如有机生物样品、纳米器件)的损伤降低30%,实现“高效加工+低损伤表征”的双重目标。
2. 超高分辨率SEM系统:原子级细节尽收眼底
配备新一代冷场发射电子枪,二次电子成像分辨率低至0.8nm(15kV加速电压下),背散射电子成像分辨率达1.2nm,可清晰捕捉原子级别的晶体缺陷、纳米颗粒分布等微观细节,为材料性能研究提供最精准的视觉依据。
3. 智能协同系统:无缝衔接的原位分析
FIB与SEM系统实现毫秒级同步响应,原位实时成像与加工无缝衔接;结合AI驱动的智能控制算法,自动优化束流参数、成像条件与切片厚度,操作效率提升40%,数据准确性显著提高。此外,设备支持快速3D重构,通过连续切片与成像,可在数小时内完成复杂样品的亚微米级三维结构重建,为多维度分析提供高效解决方案。
应用场景:多领域掀起微观研究革命
这款设备的“双超高”特性,正在多个关键领域释放巨大价值:
半导体行业:加速先进制程研发
针对7nm及以下芯片,设备可快速定位失效点(如金属线裂纹、介电层缺陷),并通过3D重构分析封装界面的微观结构。某芯片研发团队测试显示,使用该设备后,失效分析周期从3天缩短至24小时,研发效率提升6倍,为先进制程迭代提供关键支撑。
材料科学:助力新型材料突破
在固态电池研究中,设备可高分辨率观察电解质与电极的界面结构,揭示离子传输机制;在纳米复合材料领域,能清晰呈现纤维与基体的结合状态,为优化材料性能提供数据支持。
生命科学:低损伤探索生命微观机制
对生物样品(如病毒颗粒、细胞骨架)进行低损伤3D成像,避免传统设备对有机组织的破坏,助力科学家揭示生命活动的微观规律,为药物研发与疾病诊断提供新视角。
地质能源:精准解析储层结构
分析页岩气储层的孔隙分布、矿物颗粒间的相互作用,为能源勘探与开发提供精准的微观依据,帮助提高油气采收率。
行业影响:重塑微观分析格局
当前,全球微观表征技术正朝着“更高分辨率、更快速度、更低损伤”的方向发展。艾博纳这款新品的推出,不仅填补了国内高端FIB-SEM设备的技术空白,更推动微观分析从“静态观察”向“动态、原位、三维”的转变。业内专家评价:“该设备的应用将加速半导体、新材料等关键领域的技术创新,助力我国在高端制造领域实现自主可控。”
结语:探索微观,赋能未来
作为微观表征技术的领军企业,艾博纳始终以技术创新为核心驱动力。此次新一代氙气等离子FIB-SEM的发布,是艾博纳在前沿技术领域的又一里程碑。未来,艾博纳将继续深耕微观分析技术,为全球科研与工业用户提供更高效、更精准的解决方案,推动微观世界的探索与应用迈向新高度。
艾博纳微纳米科技有限公司是一家位于苏州市相城区(Medpark)和江苏省淮安市的高科技企业,成立于2022年8月。公司专注于高端光学科学仪器和医学成像设备的研发、制造与销售。
其产品涵盖显微成像解决方案、真空与镀膜技术以及光学元件,产品范围从基础光学显微镜到先进的纳米级三维成像显微镜。
公司还致力于新一代人工智能驱动的科学设备研发,聚焦于纳米尺度二维材料电子器件(如石墨烯芯片)的应用研究,并结合诺贝尔奖获奖技术进行创新探索。
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