近日，艾博纳宣布推出自主研发的新一代超高分辨率镓离子聚焦离子束-扫描电子显微镜（FIB-SEM）系统，该设备在空间分辨率、样品处理效率及三维表征能力上实现多项核心突破，为半导体、材料科学、生命科学等领域的纳米级研究提供了全新工具，标志着我国在高端微观表征仪器领域迈出关键一步。
技术突破：分辨率与协同性双升级
这款新设备的核心优势在于极致的空间分辨率与双束系统的深度协同。艾博纳研发团队通过优化镓离子源设计（采用高亮度冷场发射离子源，能量分散度降低至5eV以下），将离子束分辨率提升至0.8nm，SEM二次电子分辨率达到0.6nm——相比传统FIB-SEM，分辨率提升超30%，可清晰观察到原子级别的材料细节。
同时，设备采用双束同轴对准技术，确保离子束与电子束的精准协同（对准误差小于2nm），实现了“切割-成像-分析”的无缝衔接。此外，新型样品台支持多维度倾斜（±60°）与高精度移动（步长0.1nm），满足复杂样品的多角度表征需求。
核心优势：从制备到表征的全流程解决方案
1. 纳米级样品制备：高效精准
设备搭载智能切割算法，可快速制备厚度仅50nm的TEM样品（耗时缩短40%），同时支持精细刻蚀（最小线宽10nm），为半导体器件的纳米级加工提供了可靠工具。例如，在芯片失效分析中，能精准定位金属线断裂、氧化层缺陷等纳米级问题，加速良率提升。
2. 三维重构：揭示微观结构的“立体密码”
通过连续切片-成像-拼接技术，设备可生成分辨率达1nm的三维模型。以新能源电池电极材料为例，研究人员可直观观察电极颗粒的分布、孔隙结构及界面变化，为优化电池循环寿命提供数据支撑。
3. 智能化操作：降低门槛，提升效率
内置AI辅助系统可自动识别样品特征（如缺陷、颗粒），优化成像参数；同时支持远程控制与数据云存储，方便跨实验室协作。“过去需要数小时的手动操作，现在通过AI算法可自动完成，大大降低了对操作人员的专业要求。”艾博纳技术负责人表示。
应用场景：覆盖多领域前沿研究
半导体领域：芯片失效分析与器件研发
在7nm及以下制程芯片中，纳米级缺陷是影响良率的关键因素。该设备可快速定位缺陷位置，并通过三维重构分析缺陷形成机制，助力芯片设计与制造工艺优化。
材料科学：新能源与催化剂研究
针对锂电池电极材料，设备可观察充放电过程中材料的微观结构演变；在催化剂领域，能清晰识别活性位点的分布与形态，为高效催化剂开发提供依据。
生命科学：生物样品的三维成像
通过低温样品台技术，设备可对冷冻生物样品（如细胞、病毒）进行三维成像，揭示细胞器的空间分布与相互作用，为疾病机制研究提供新视角。
MEMS与微纳制造：器件精度控制
在微机电系统（MEMS）中，设备可表征微结构的尺寸精度与表面粗糙度，确保器件性能稳定。
行业影响：打破垄断，推动自主创新
长期以来，高端FIB-SEM市场被国外品牌主导。艾博纳新一代设备的推出，不仅填补了国内超高分辨率双束系统的空白，还将仪器采购成本降低约30%，让更多科研机构与企业能接触到先进技术。
“这款设备的研发成功，体现了艾博纳在高端仪器领域的自主创新能力。”某半导体行业资深研究员评价道，“它将加速我国纳米科技的发展，推动半导体、新能源等关键领域的技术突破。”
未来展望：持续拓展功能边界
艾博纳表示，下一步将重点研发原位表征技术（如原位电学、力学测试），实现“观察-测试-分析”的一体化；同时整合机器学习算法，进一步提升设备的自动化与智能化水平。“我们希望通过持续创新，为全球用户提供更高效、更精准的微观表征解决方案。”艾博纳CEO强调。
艾博纳新一代超高分辨率镓离子FIB-SEM的发布，不仅是技术上的突破，更是我国高端仪器制造能力的体现。它将为纳米级研究注入新动力，助力各行业在前沿领域实现更大突破。
艾博纳微纳米科技有限公司是一家位于苏州市相城区（Medpark）和江苏省淮安市的高科技企业，成立于2022年8月。公司专注于高端光学科学仪器和医学成像设备的研发、制造与销售。
其产品涵盖显微成像解决方案、真空与镀膜技术以及光学元件，产品范围从基础光学显微镜到先进的纳米级三维成像显微镜。
公司还致力于新一代人工智能驱动的科学设备研发，聚焦于纳米尺度二维材料电子器件（如石墨烯芯片）的应用研究，并结合诺贝尔奖获奖技术进行创新探索。
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